設(shè)計(jì)了Co-Re化學(xué)氣相沉積一體化系統(tǒng),采用兩個(gè)升華室,分別以Co（acac）₂和Re₂（CO）₁₀為前驅(qū)體,通過運(yùn)載氣體H₂輸運(yùn)至反應(yīng)室,在速射武器身管鋼基體上（0CrNi2MoVA型鋼材）同時(shí)沉積Co原子和Re原子,生成Co-Re合金抗燒蝕涂層。Co-Re化學(xué)氣相沉積一體化系統(tǒng)包括機(jī)械系統(tǒng)和控制系統(tǒng)。介紹了系統(tǒng)的原理和構(gòu)成,著重介紹了一體化系統(tǒng)的五個(gè)溫控系統(tǒng)設(shè)計(jì)以及各個(gè)控制元件的連接和操作。經(jīng)過初步的測試表明:能夠給Co-Re涂層的形成提供合適的溫度與氣壓,并且結(jié)構(gòu)簡單、制造成本低,此系統(tǒng)能夠用于Co-Re合金涂層的制備與研究。 

【文章來源】：機(jī)械設(shè)計(jì)與制造. 2020,(10)北大核心

【文章頁數(shù)】：4 頁

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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博士論文
[1]化學(xué)氣相沉積制備高純度Re、Ir的相關(guān)機(jī)理研究[D]. 楊詩瑞.北京理工大學(xué) 2015

碩士論文
[1]錸的化學(xué)氣相沉積前驅(qū)體的合成探究[D]. 王薇.昆明理工大學(xué) 2013



本文編號：3035490