【摘要】：為了提高鋼領(lǐng)表面耐磨性,采用中頻非平衡磁控濺射法在經(jīng)熱處理的GCr15鋼領(lǐng)上制備了類金剛石(DLC)薄膜,并對不同磁控濺射功率、負(fù)偏壓下制備的DLC薄膜進(jìn)行了組織結(jié)構(gòu)分析和摩擦磨損性能測試。結(jié)果表明:隨著濺射功率、負(fù)偏壓增加,DLC薄膜的Raman譜G峰位置和ID/IG值均整體上呈增加趨勢,sp3鍵含量減少,石墨化程度增加;負(fù)偏壓恒定為100 V時功率為8 k W以及功率恒定為5 k W時負(fù)偏壓120 V,制備的DLC薄膜具有較小的摩擦系數(shù)和穩(wěn)定的抗磨損性能。
[Abstract]:In order to improve the wear resistance of collar surface, diamond-like carbon (DLC) thin films were prepared on heat-treated GCr15 collar by medium frequency unbalanced magnetron splashing. The microstructure and friction and wear properties of DLC thin films prepared under different magnetron sputtering power and negative bias were analyzed. The results show that with the increase of sputtering power and negative bias voltage, the G peak position and ID/ G value of DLC thin films increase, the SP3 bond content decreases and the graphitization degree increases, and when the negative bias voltage is constant 100V, the negative bias voltage is 8kW and 5kW, the DLC thin films have small friction coefficient and stable wear resistance.
【作者單位】： 鶴壁汽車工程職業(yè)學(xué)院機(jī)械工程系;上海百若實(shí)驗儀器有限公司技術(shù)部;
【分類號】：TG174.444

【共引文獻(xiàn)】

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本文編號：2503484