本文選題：微制造　切入點：不銹鋼板　出處：《化工學報》2015年10期 　論文類型：期刊論文

【摘要】：微細加工技術是伴隨著微制造的出現(xiàn)而產(chǎn)生的一類新型現(xiàn)代化制造技術,它實現(xiàn)了微小尺度范圍內(nèi)的機械加工和裝配。化學蝕刻技術是微細加工技術主要的加工方法之一,包括浸泡、鼓泡、噴淋等方法,其中浸泡式蝕刻方法相對來說設備簡單、操作方便、節(jié)約成本。本文采用單因素浸泡式方法對不銹鋼板蝕刻進行了實驗研究,研究了蝕刻時間、蝕刻液組分濃度及溫度等因素對化學蝕刻質(zhì)量的影響。結果表明,蝕刻液中Fe Cl3濃度、H3PO4濃度、溫度等對蝕刻速度、蝕刻均勻性、側蝕及粗糙度有較大的影響。研究結果對流體微細通道的制造提供了初步工藝參數(shù)。
[Abstract]:Micromachining is a new type of modern manufacturing technology with the appearance of microfabrication. It realizes machining and assembly in the range of micro scale. Chemical etching is one of the main processing methods of micro machining. It includes soaking, bubbling, spraying and so on. The immersion etching method is relatively simple in equipment, convenient in operation and cost saving. In this paper, single factor immersion method is used to study the etch time of stainless steel plate. The results show that the concentration of Fe Cl3 and the concentration of H _ 3PO _ 4 in the etch solution affect the etching speed and etching uniformity. The side erosion and roughness have great influence. The results provide the preliminary technological parameters for the fabrication of fluid microchannels.
【作者單位】： 西安交通大學熱流科學與工程教育部重點實驗室;
【基金】：國家自然科學基金國際(地區(qū))合作與交流項目(51120165002)~~
【分類號】：TG178;TH16

【參考文獻】

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【共引文獻】

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本文編號：1651505