本文關(guān)鍵詞： 拋光機(jī)床 正交多項(xiàng)式 插值算法 綜合誤差模型 誤差補(bǔ)償　出處：《光學(xué)精密工程》2015年12期 　論文類型：期刊論文

【摘要】：為了提高四軸拋光平臺的加工精度,本文針對以氣浮平臺和旋轉(zhuǎn)臺為主要運(yùn)動方式的四軸拋光平臺進(jìn)行了幾何與熱綜合誤差建模與補(bǔ)償研究。采用激光干涉儀、溫度傳感器等測量儀器分別對平臺X、Z軸在不同溫度下的定位誤差進(jìn)行重復(fù)測量與分析,證實(shí)了不同進(jìn)給速度對定位誤差沒有顯著影響。得到了四軸拋光平臺X、Z軸的定位誤差與溫度之間的變化規(guī)律�；谡欢囗�(xiàng)式和插值算法分別建立了X、Z軸的幾何與熱綜合誤差模型。根據(jù)綜合誤差模型計(jì)算出預(yù)測數(shù)據(jù)曲線,并分別對X、Z軸的7組實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)進(jìn)行了數(shù)據(jù)擬合,擬合殘差絕對值均不超過0.2μm。依據(jù)預(yù)測數(shù)據(jù)進(jìn)行了補(bǔ)償實(shí)驗(yàn)。結(jié)果顯示,補(bǔ)償后四軸拋光平臺在常溫下、溫升(60 min)下和穩(wěn)態(tài)下的Z軸定位誤差分別降低了93.05%、92.45%、85.71%,X軸定位誤差分別降低了89.28%、93.59%、93.33%。實(shí)驗(yàn)結(jié)果證明本文所提出的綜合模型及補(bǔ)償方法精度高,魯棒性好。
[Abstract]:In order to improve the machining accuracy of the four-axis polishing platform, the geometric and thermal comprehensive error modeling and compensation of the four-axis polishing platform based on the air-floating platform and the rotating table are studied in this paper. The laser interferometer is used. The temperature sensor and other measuring instruments are used to repeatedly measure and analyze the positioning error of the XnZ axis of the platform at different temperatures. It is proved that different feed speeds have no significant effect on the positioning error, and the variation law between the positioning error and temperature of the XnZ axis of the four-axis polishing platform is obtained. The geometry of the XZ axis is established based on orthogonal polynomial and interpolation algorithm, respectively. And heat synthesis error model. According to the comprehensive error model, the prediction data curve is calculated. Seven groups of experimental data of XnZ axis were fitted, and the absolute residual values were not more than 0.2 渭 m. Compensation experiments were carried out according to the predicted data. The results showed that the four axis polishing platform after compensation was at room temperature. The Z-axis positioning errors under temperature rise and steady state are reduced by 93.05 / 92.45 and 85.71X axis positioning errors, respectively. The experimental results show that the proposed comprehensive model and compensation method have high accuracy and good robustness.
【作者單位】： 吉林大學(xué)機(jī)械科學(xué)與工程學(xué)院;長春工業(yè)大學(xué)機(jī)電學(xué)院;
【基金】：國家973重點(diǎn)基礎(chǔ)研究發(fā)展計(jì)劃資助項(xiàng)目(No.2011CB706702)
【分類號】：TG580.2

【參考文獻(xiàn)】

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2 劉又午;多體動力學(xué)在機(jī)械工程領(lǐng)域的應(yīng)用[J];中國機(jī)械工程;2000年Z1期

【共引文獻(xiàn)】

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3 趙麗娟;王天博;劉杰;寧作江;;柔性多體系統(tǒng)動力學(xué)理論應(yīng)用于軋制工業(yè)的綜述[J];中國工程機(jī)械學(xué)報(bào);2006年04期

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7 辜志剛,諶永祥;三坐標(biāo)數(shù)控機(jī)床誤差補(bǔ)償技術(shù)研究[J];機(jī)床電器;2004年01期

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4 萬達(dá);基于ADAMS的鼓式制動器結(jié)構(gòu)優(yōu)化設(shè)計(jì)[D];河北工業(yè)大學(xué);2011年

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6 盧紹青;數(shù)控機(jī)床通用誤差補(bǔ)償技術(shù)研究[D];北京工業(yè)大學(xué);2001年

7 張曉龍;三軸數(shù)控機(jī)床通用幾何誤差軟件補(bǔ)償技術(shù)的研究[D];北京工業(yè)大學(xué);2003年

8 郭辰;多功能數(shù)控銑床幾何誤差補(bǔ)償技術(shù)的研究[D];沈陽工業(yè)大學(xué);2005年

9 吳志橋;非慣性系下柔性結(jié)構(gòu)動力學(xué)研究[D];國防科學(xué)技術(shù)大學(xué);2004年

10 杜娥;基于ADAMS的巡線機(jī)器人運(yùn)動學(xué)、動力學(xué)仿真[D];武漢大學(xué);2005年

【二級參考文獻(xiàn)】

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3 謝春;張為民;;車銑復(fù)合加工中心綜合誤差檢測及補(bǔ)償策略[J];光學(xué)精密工程;2014年04期

4 劉又午;王樹新;王建明;趙小松;金國光;曲廣吉;楊雷;;復(fù)雜結(jié)構(gòu)航天器的柔性多體動力學(xué)分析[J];航天器工程;1998年03期

5 趙小松,劉麗冰,章青,劉又午;四軸聯(lián)動加工中心誤差模型及參數(shù)辯識[J];機(jī)械工程學(xué)報(bào);2000年10期

6 郭前建;楊建國;;基于蟻群算法的機(jī)床熱誤差建模技術(shù)[J];上海交通大學(xué)學(xué)報(bào);2009年05期

7 張毅;楊建國;;基于灰色神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的機(jī)床熱誤差建模[J];上海交通大學(xué)學(xué)報(bào);2011年11期

8 吳洪濤,王樹新,張大鈞,劉又午;建立多剛體系統(tǒng)動力學(xué)方程方法的等價(jià)性[J];天津大學(xué)學(xué)報(bào);1993年03期

9 劉又午,王建明,劉才山,張大鈞,周學(xué)軍;計(jì)及動力剛化的柔性多體系統(tǒng)動力分析[J];天津大學(xué)學(xué)報(bào);1998年04期

10 張大鈞，張海根，，劉又午;獲取＂動力硬化＂的一般程式[J];Transactions of Tianjin University;1995年01期

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6 代育紅;數(shù)字圖像顏色插值算法的研究[D];西安電子科技大學(xué);2013年

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10 田其沖;基于邊緣的快速圖像插值算法研究[D];華中科技大學(xué);2013年

本文編號：1508672