針對MEMS火工品低能化、集成化技術(shù)要求,設計了一種基于MEMS工藝的微起爆器,通過仿真計算獲得了基體材料、換能元材料、火工藥劑與微起爆器起爆性能的影響規(guī)律,確定了微起爆器的結(jié)構(gòu)參數(shù);通過MEMS工藝完成微起爆器一體化集成制作,對結(jié)構(gòu)參數(shù)以及起爆性能進行了測試,結(jié)果表明結(jié)構(gòu)尺寸與設計尺寸誤差小于6%;微起爆器發(fā)火電壓小于3V,裝藥直徑1mm、裝藥量2.0mg時,可以可靠起爆CL-20炸藥,實現(xiàn)了低能化、集成化的要求,為MEMS火工品提供技術(shù)支撐。

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【文章目錄】：
1 微起爆器仿真計算
    1.1 物理模型
    1.2 仿真計算
        1.2.1 基體材料對起爆性能的影響規(guī)律
        1.2.2 換能元材料對起爆性能的影響規(guī)律
        1.2.3 火工藥劑對起爆性能的影響規(guī)律
2 微起爆器集成及表征分析
    2.1 一體化集成制作
    2.2 性能表征
3 微起爆器性能測試
    3.1 臨界發(fā)火電壓測試
    3.2 輸出性能測試
4 結(jié)論



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