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利用納秒激光提高銅表面吸光率的研究

發(fā)布時(shí)間:2017-09-16 11:47

  本文關(guān)鍵詞:利用納秒激光提高銅表面吸光率的研究


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【摘要】:利用納秒脈沖激光對(duì)銅表面進(jìn)行打黑處理,并使用分光光度計(jì)、光學(xué)表面輪廓儀、掃描電子顯微鏡(SEM)等對(duì)試樣進(jìn)行反射率、粗糙程度的測(cè)量以及微觀結(jié)構(gòu)的觀察。選用單向填充式掃描方式研究了不同掃描間距對(duì)打黑效果的影響,發(fā)現(xiàn)在不同掃描間距條件下,打黑后會(huì)形成不同的微觀結(jié)構(gòu)(光柵狀、近似光柵狀、珊瑚狀等),且減小掃描間距可以顯著增加吸光率。其中,當(dāng)掃描間距為10μm時(shí),打黑后的樣品在200~760 nm波段的吸光率可達(dá)97%以上,在760~1110 nm波段達(dá)到90%以上,而在1110~2500 nm波段也保持在85%以上。此外,研究了二次填充對(duì)打黑效果的影響,發(fā)現(xiàn)打黑后樣品的吸光率也較第一次打黑有一定提高,且不同填充方向的二次打黑所造成的吸光率的差異隨著掃描間距的減小而逐漸減小。
【作者單位】: 江蘇大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院;中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所全固態(tài)光源實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】激光光學(xué) 微納米結(jié)構(gòu) 吸光率 納秒激光
【基金】:國(guó)家863計(jì)劃(2014AA032607) 江蘇省高校自然科學(xué)研究項(xiàng)目(11KJA460003)
【分類號(hào)】:TG665
【正文快照】: 1引言利用脈沖激光輻照材料表面產(chǎn)生微納米結(jié)構(gòu)是表面工程領(lǐng)域的研究熱點(diǎn)之一[1-10],這種結(jié)構(gòu)可以改變材料本身的物理、化學(xué)性質(zhì),如提高光電轉(zhuǎn)換效率[11]、LED的光提取效率[12]以及表現(xiàn)出偏振散射特性[13]。近年來(lái),有關(guān)這種結(jié)構(gòu)還可以提高材料表面吸光率的報(bào)道越來(lái)越多,如Voro

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1 任洪娥;宋爽;白巖;董本志;齊紅;;納秒激光刨切微納米木纖維的工藝技術(shù)研究[J];木材加工機(jī)械;2014年01期

2 羅曉琳,孔祥蕾,牛冬梅,渠洪波,李海洋;納秒激光電離產(chǎn)生Kr~(17+)的研究[J];化學(xué)物理學(xué)報(bào);2004年01期

3 羅曉琳,孔祥蕾,牛冬梅,渠洪波,李海洋;532nm納秒激光電離產(chǎn)生Xe~(z+)(z≤11)高價(jià)離子[J];物理化學(xué)學(xué)報(bào);2004年03期

4 朱亮;楊潤(rùn);裴紹虎;朱寶春;;硬質(zhì)合金表面納秒激光微織構(gòu)工藝參數(shù)優(yōu)化[J];熱加工工藝;2014年08期

5 ;[J];;年期

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1 賈天卿;鄧蘊(yùn)沛;程傳福;李儒新;徐至展;;飛秒-納秒激光照射下透明介質(zhì)燒蝕的微觀過(guò)程和物理機(jī)制(英文)[A];Strong Field Laser Physics--Proceedings of CCAST(World Laboratory) Workshop[C];2002年

2 谷鵬;劉世炳;劉嵩;宋海英;董祥明;葛琪妮;;納秒激光單脈沖燒蝕硅表面的超快成像研究[A];第十屆全國(guó)光電技術(shù)學(xué)術(shù)交流會(huì)論文集[C];2012年

3 李小強(qiáng);;納秒激光產(chǎn)生Sn等離子體狀態(tài)實(shí)驗(yàn)研究[A];黑龍江、江蘇、山東、河南、江西 五省光學(xué)(激光)聯(lián)合學(xué)術(shù)‘13年會(huì)論文(摘要)集[C];2013年

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2 夏惠;納秒激光對(duì)HfO_2/SiO_2高反膜的損傷特性和預(yù)處理[D];南京理工大學(xué);2014年

3 黃楷;納秒激光與金屬材料相互作用過(guò)程及微結(jié)構(gòu)加工研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2012年

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本文編號(hào):862867

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