本文關鍵詞：塑性微成形技術研究進展，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【摘要】：隨著微納米科學和微機電系統(tǒng)(Micro-Electro-Mechanical Systems,MEMS)技術的快速發(fā)展,人們對微型零件的需求日益增加。塑性微成形是一種采用塑性變形,成形零件尺寸至少有兩個方向在亞毫米量級的微制造方法,具有加工效率高、工藝簡單以及成形零件性能優(yōu)異和精度高等特點,特別適合于微型零件的低成本批量制造。介紹了塑性微成形技術的研究背景、應用領域及其優(yōu)點,綜述了微成形在尺度效應、新設備以及工藝方法等方面的最新研究進展,并論述了微成形技術在新材料(超細晶材料及非晶材料)方面的發(fā)展趨勢。
【作者單位】： 哈爾濱工業(yè)大學微系統(tǒng)與微結構制造教育部重點實驗室;
【關鍵詞】： 微成形 尺度效應 微型零件 超細晶材料 微機電系統(tǒng)
【基金】：國家重大科學研究計劃(2012CB4102) 國家自然科學基金資助項目(51375111)
【分類號】：TG306
【正文快照】： 1前言隨著微機電系統(tǒng)(Micro-Electro-Mechanical Systems,MEMS)技術的快速發(fā)展和逐步進入實用化,人們對微型零件的需求日益增加[1],尤其是應用到微系統(tǒng)的三維微結構零件,例如,微電子元器件、微型執(zhí)行機構的微型齒輪類零件、紡織印染領域陣列微噴孔類零件、生物醫(yī)療以及光學領

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