發(fā)布時(shí)間：2022-12-22 05:44

　　三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)主要用于測(cè)量表面形貌微小、復(fù)雜的零件。微納測(cè)頭是三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)上的關(guān)鍵零部件,其性能直接影響三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的測(cè)量精度及穩(wěn)定性。剛度是微納測(cè)頭的關(guān)鍵屬性,它影響著微納測(cè)頭的測(cè)量接觸力、穩(wěn)定性、工藝性和動(dòng)態(tài)響應(yīng)等特性。選取合適的剛度對(duì)微納測(cè)頭的性能提升意義重大,若選取剛度值過(guò)大,測(cè)量力將會(huì)過(guò)大,破壞工件表面;若選取剛度值過(guò)小,會(huì)有響應(yīng)速度慢,穩(wěn)定性和工藝性較差等問(wèn)題�；趬簵U失穩(wěn)特性,構(gòu)造了一種十字交叉梁的壓桿式變剛度測(cè)頭。通過(guò)壓電驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)平行導(dǎo)向柔順機(jī)構(gòu),擠壓約束支撐梁,降低剛度,達(dá)到調(diào)節(jié)測(cè)頭剛度的目的�；谧钚�(shì)能原理,建立了壓桿式變剛度測(cè)頭的剛度模型,得出剛度與壓電驅(qū)動(dòng)力之間的關(guān)系曲線。通過(guò)有限元仿真驗(yàn)證了所建立的剛度模型,同時(shí)仿真分析了該測(cè)頭處于各向同性剛度時(shí)模態(tài)、諧響應(yīng)及瞬態(tài)響應(yīng)的動(dòng)態(tài)特性。類比高靜態(tài)低動(dòng)態(tài)隔震裝置,構(gòu)造了一種三梁型磁控變剛度測(cè)頭。通過(guò)電磁-永磁-電磁的結(jié)構(gòu)形式產(chǎn)生動(dòng)剛度,將其并聯(lián)于測(cè)頭約束支撐機(jī)構(gòu),達(dá)到剛度調(diào)節(jié)的目的�；趧偠染仃嚪�,建立了測(cè)頭約束支撐梁靜剛度模型,同時(shí)得到該測(cè)頭各向同性剛度的約束條件。通過(guò)有限元仿真驗(yàn)證了所建立的靜剛度模型,同時(shí)得到動(dòng)... 

【文章頁(yè)數(shù)】：93 頁(yè)

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【部分圖文】：

幾種微型元器件Fig.1Severalminiaturecomponents

精密測(cè)量?jī)x器分辨力Fig.3ResolutionofPrecisionmeasuringinstrument

NPL電容式測(cè)頭


本文編號(hào)：3723574