近年來(lái),隨著精密儀器、光學(xué)技術(shù)以及3C等行業(yè)的迅速發(fā)展,鋁合金、藍(lán)寶石及單晶SiC等材料在手持設(shè)備、智能穿戴、集成電路等領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用,要求這些材料具有超平坦、超光滑、無(wú)表面損傷等特點(diǎn)。傳統(tǒng)的加工技術(shù)存在表面損傷、加工效率低等問(wèn)題,難以獲得理想的加工表面。針對(duì)上述問(wèn)題,將極具前景的面接觸式超精密磁流變拋光技術(shù)應(yīng)用到3C制造業(yè),避免了現(xiàn)有的點(diǎn)接觸及線接觸拋光方式加工效率較低的問(wèn)題。為提高磁流變加工的效率,在比較分析國(guó)內(nèi)外科研工作者研究的基礎(chǔ)上,提出了一種基于面接觸思想的環(huán)狀加工技術(shù),為面形精度在微米級(jí)的超光滑平面的制造提供了一種高效的加工方法。本文主要研究工作如下。（1）對(duì)圓柱型永磁體拋光頭進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)研究,探求了其存在的面形缺陷,提出圓柱型永磁體拋光頭加工過(guò)程中存在一種“環(huán)狀效應(yīng)”。通過(guò)單因素實(shí)驗(yàn)法分別研究磁場(chǎng)強(qiáng)度、加工間隙、轉(zhuǎn)速對(duì)“環(huán)狀效應(yīng)”有效加工距離的影響規(guī)律,為以后的工藝技術(shù)研究奠定了基礎(chǔ)。（2）基于“環(huán)狀效應(yīng)”設(shè)計(jì)出一種圓柱型永磁體磁流變拋光頭,與圓柱型永磁體拋光頭進(jìn)行了對(duì)比實(shí)驗(yàn),設(shè)計(jì)的拋光頭的面形有著較大的提高,且形成的均勻加工區(qū)域較大,驗(yàn)證了方案的可行性。在此方案的基礎(chǔ)... 

【文章來(lái)源】：浙江師范大學(xué)浙江省

【文章頁(yè)數(shù)】：70 頁(yè)

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【部分圖文】：

化學(xué)機(jī)械拋光原理圖

但是設(shè)備成本高，去除效率低，一般在 0.1~10nm/min 左右[13]，如圖1.2(b)所示。此外，該拋光設(shè)備復(fù)雜，成本較高，在一定程度上限制了該拋光工藝的的應(yīng)用[8]。a）加工原理[12]b）束徑與去除率[13]圖 1.2 離子束拋光3.水射流拋光：由于液態(tài)物質(zhì)具有天然貼合任何表面的屬性，研究者試圖利用這種獨(dú)特性質(zhì)進(jìn)行

圖 1.4 QED 公司的 Q22-950 型磁流變拋光機(jī)床磁流變拋光是一種非接觸式的確定性的柔性[19]超精密加工技術(shù)，表面誤差和拋精度的收斂速度高于經(jīng)典拋光技術(shù)。拋光原理如圖 1-5 所示，MR 流體從流體調(diào)節(jié) 1 被泵送到噴嘴 2，在噴嘴 2 處將 MR 噴射到旋轉(zhuǎn)的載液輪上。在初始接觸點(diǎn)處，R 流體是一種粘性流體，當(dāng)載液輪將噴嘴 2 處的流體帶到區(qū)域 3 時(shí)，由于在載液輪方具有高強(qiáng)度的梯度磁場(chǎng)，拋光液中的鐵粉瞬間被磁化成為鏈狀結(jié)構(gòu)，將流體粘度高了幾個(gè)數(shù)量級(jí)[20]，這使得在拋光區(qū)域形成的柔性拋光頭可以產(chǎn)生很大的剪切力加于工件表面[19]，從而實(shí)現(xiàn)工件表面上材料的去除。當(dāng) MR 流體被載液輪帶到區(qū)域時(shí)，由于沒有了磁場(chǎng)，磁流變液瞬時(shí)（毫秒級(jí)）發(fā)生固-液相變，在區(qū)域 4 安裝收集置，把磁流變液送回到流體調(diào)節(jié)器 1，調(diào)節(jié)器將磁流變液冷卻至設(shè)定點(diǎn)溫度，并彌蒸發(fā)的水分來(lái)保證磁流變液的穩(wěn)定性。與傳統(tǒng)的拋光工藝相比，有明顯的技術(shù)優(yōu)勢(shì)。（1）工具無(wú)磨損[14; 21; 22]；

【參考文獻(xiàn)】：
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碩士論文
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