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Si摻雜對納米硬質(zhì)CrAlN涂層結(jié)構(gòu)及性能影響

發(fā)布時間:2018-07-29 13:12
【摘要】:采用真空陰極電弧離子鍍技術(shù)在V-4E工具鋼表面制備了CrAlN、CrAlSiN兩種多元納米硬質(zhì)涂層。采用劃痕儀、工具顯微鏡、顯微硬度計、球磨儀、SEM、EDS、XRD、TEM及XPS分析了涂層的力學性能、摩擦學性能以及微結(jié)構(gòu)。結(jié)果表明:與CrAlN涂層相比,CrAlSiN涂層中Si的摻雜能使晶粒細化,提高涂層硬度和耐磨性、優(yōu)化膜基結(jié)合水平;CrAlSiN涂層中的立方相CrN由(111)擇優(yōu)取向向(200)擇優(yōu)取向轉(zhuǎn)變,晶粒尺寸明顯減小,相結(jié)構(gòu)為非晶態(tài)Si_3N_4包覆納米晶復合混合框架結(jié)構(gòu)。
[Abstract]:Two kinds of multicomponent nano-hard coatings of CrAlN and CrAlSiN were prepared on the surface of V-4E tool steel by vacuum cathode arc ion plating. The mechanical properties, tribological properties and microstructure of the coatings were analyzed by means of scratch tester, tool microscope, microhardness tester, ball mill apparatus, and XPS. The results show that Si doping in CrAlSiN coating can refine the grain, improve the hardness and wear resistance of CrAlSiN coating compared with CrAlN coating. The cubic phase CrN in CrAlSiN coating can be changed from (111) preferred orientation to (200) preferred orientation. The grain size decreases obviously and the phase structure is amorphous Si_3N_4 coated nanocrystalline hybrid frame structure.
【作者單位】: 西安交通大學材料科學與工程學院;中國航發(fā)沈陽黎明航空發(fā)動機有限責任公司技術(shù)中心;青島理工大學機械工程學院;
【分類號】:TG174.4

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本文編號:2152782

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