本文選題：多弧離子鍍 + 負(fù)偏壓�。� 參考：《真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報(bào)》2017年02期

【摘要】：采用多弧離子鍍技術(shù)于不同負(fù)偏壓條件下在鋯合金表面沉積純Cr涂層。利用掃描電子顯微鏡、X射線衍射儀和劃痕儀分析了純Cr涂層表面形貌和擇優(yōu)生長取向變化規(guī)律,并對涂層膜基結(jié)合力進(jìn)行表征。結(jié)果表明:負(fù)偏壓不同,純Cr涂層上液滴分布和擇優(yōu)生長取向都有較大的影響。其中隨著負(fù)偏壓的增加,純Cr涂層表面液滴的數(shù)量和尺寸先減少后增加的趨勢,同時純Cr涂層晶體擇優(yōu)生長趨勢由(200)晶面轉(zhuǎn)向(110)晶面;純Cr涂層的膜/基結(jié)合力隨負(fù)偏壓的增加逐漸增大。
[Abstract]:Pure Cr coating was deposited on the surface of zirconium alloy by multi-arc ion plating under different negative bias voltage.The surface morphology and preferred growth orientation of pure Cr coatings were analyzed by scanning electron microscopy (SEM) and scratch tester. The adhesion of the coatings was characterized.The results show that the droplet distribution and preferred growth orientation of Cr coating are greatly affected by the negative bias voltage.With the increase of negative bias voltage, the number and size of droplets on the surface of pure Cr coating decrease first and then increase, and the preferred growth trend of pure Cr coating crystal changes from the crystal plane of 200 to the crystal plane of 110).The adhesion of pure Cr coating increases with the increase of negative bias voltage.
【作者單位】： 南華大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院;國家電投集團(tuán)中央研究院;
【基金】：國家科技重大專項(xiàng)子課題項(xiàng)目(2015ZX06004001-002) 湖南省重點(diǎn)學(xué)科建設(shè)項(xiàng)目(湘教發(fā)[2011]76) 湖南省高校重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室基金項(xiàng)目(湘教發(fā)[2014]85)
【分類號】：TG174.4

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本文編號：1770642