本文選題：化學拋光　切入點：超精密加工技術　出處：《機械工程學報》2018年01期

【摘要】：正超平滑無損傷銅表面的超精密加工技術在微電子器件和微機電系統(tǒng)制造中具有廣泛的需求。目前,化學機械拋光作為常見的超精密加工技術,在超光滑超平整表面加工中得到廣泛應用,但由于其加工過程中的機械作用而難以獲得無損傷銅表面�，F有的化學拋光和電化學拋光等無應力拋光方法由于沒有機械作用的影響,可獲得高完整性無損傷的銅表面,但化學拋光僅
[Abstract]:Ultra-precision machining technology of positive ultra-smooth and non-damaged copper surface is widely needed in the manufacture of micro-electronic devices and micro-electromechanical systems. At present, chemical mechanical polishing is a common ultra-precision machining technology. It is widely used in ultra-smooth and super-smooth surface processing. However, due to the mechanical action in the process, it is difficult to obtain the non-damaged copper surface. The existing stress-free polishing methods, such as chemical polishing and electrochemical polishing, can obtain the high-integrity and non-damaged copper surface without the influence of mechanical action. But only chemical polishing
【作者單位】： 大連理工大學;
【分類號】：TG175.3

【相似文獻】

相關期刊論文 前10條

1 任雅勛;低碳鋼H_2O_2-NH_4HF_2體系化學拋光工藝的控制[J];電鍍與涂飾;2002年03期

2 龐洪濤,李鑫慶,王菊榮;鋁及鋁合金高亮度無黃煙化學拋光工藝[J];材料保護;2002年11期

3 王敏;一次鋁材化學拋光故障分析[J];材料保護;2003年06期

4 王敏;銅、鐵組合件的化學拋光工藝[J];中國表面工程;2003年01期

5 文斯雄;不銹鋼化學拋光實踐[J];電鍍與環(huán)保;2003年05期

6 姜力夫,任崇桂,謝怡;不銹鋼卡的化學拋光[J];化學世界;2004年12期

7 方景禮;金屬的化學拋光技術系列講座 第一講 鋼鐵制件的化學拋光[J];電鍍與涂飾;2005年08期

8 李賢成;;黃銅件無黃煙化學拋光[J];涂裝與電鍍;2009年02期

9 周金保;不銹鋼化學拋光工藝的發(fā)展[J];電鍍與環(huán)保;1998年03期

10 朱立群,李曉南,劉晨敏;3Cr13不銹鋼化學拋光研究[J];新技術新工藝;2000年05期

相關會議論文 前10條

1 楊慶富;;化學拋光在鈦合金高倍組織檢測中的應用[A];探索創(chuàng)新交流－－中國航空學會青年科技論壇文集[C];2004年

2 何家康;;過氧化氫在化學拋光中的應用[A];貴陽電鍍協(xié)會成立二十周年年會論文集[C];2004年

3 鄭秋云;李明軍;舒適;;一類機械化學拋光的磁流體模型及其數值模擬[A];第五屆全國青年計算物理學術交流會論文摘要[C];2008年

4 馬洪芳;紀立杰;董翠謙;;鋁合金的化學拋光[A];2001年全國電子電鍍年會論文集[C];2001年

5 蔣建忠;趙永武;;機械化學拋光過程單分子層材料吸附去除初理分析及建模[A];2006全國摩擦學學術會議論文集（一）[C];2006年

6 侯晶;許喬;雷向陽;周禮書;張清華;王健;;高精度數控化學拋光技術[A];中國工程物理研究院科技年報（2003）[C];2003年

7 侯晶;許喬;張清華;雷向陽;周禮書;陳寧;;高精度數控化學拋光技術[A];中國工程物理研究院科技年報（2005）[C];2005年

8 王興華;易君明;;電磁純鐵化學拋光工藝研究[A];貴陽電鍍協(xié)會成立二十周年年會論文集[C];2004年

9 屈戰(zhàn)民;;新型不銹鋼化學拋光劑工藝研究[A];天津市電鍍工程學會第九屆學術年會論文集[C];2002年

10 馬躍洲;馬文斌;;鋁焊絲化學拋光生產線研制[A];第十一次全國焊接會議論文集（第2冊）[C];2005年

相關重要報紙文章 前1條

1 李鵬;詳解拋光工藝[N];中國黃金報;2010年

相關博士學位論文 前1條

1 單坤;銅電致化學拋光機理及性能研究[D];大連理工大學;2016年

相關碩士學位論文 前10條

1 張艷紅;鋁制品化學拋光新工藝的研究[D];山西大學;2009年

2 龐洪濤;鋁及鋁合金環(huán)保型化學拋光研究[D];機械科學研究院;2002年

3 徐靜;基于不銹鋼及銅合金表面的環(huán)保型化學拋光技術研究[D];華南理工大學;2016年

4 靳一帆;散熱條件對FDM成型精度的影響及表面化學拋光工藝研究[D];山東大學;2017年

5 劉東光;H_2SO_4-H_3PO_4為基液的模具鋼化學拋光工藝研究[D];武漢理工大學;2008年

6 馬海生;鎳毛細管內表面的化學拋光研究[D];燕山大學;2015年

7 梁桂蘭;黃銅線和紫銅線的化學拋光新工藝[D];華南理工大學;2012年

8 徐善坤;鋁合金表面堿性化學拋光的研究與應用[D];安徽工業(yè)大學;2017年

9 聶傳繼;基于Marangoni效應的數控化學拋光工藝研究[D];浙江大學;2007年

10 宋曉敏;AM60鎂合金化學拋光及化學轉化膜的研究[D];湖南大學;2009年

，

本文編號：1662388