發(fā)布時間：2017-11-16 08:04

  本文關鍵詞：空間精密位移信號軟細分方法研究

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【摘要】：為了解決高精度數(shù)控裝備對位移傳感器高分辨力反饋的需求,本文提出通過對空域信號特征的分析,從時空變換理論模型的角度去研究位移測量問題;利用光柵周期性柵線作為等空間位置觸發(fā)位置采樣建立空間序列模型;通過對光柵莫爾條紋信號自適應預測細分模型階數(shù)與系數(shù)估計算法完成光柵莫爾條紋信號細分。實驗結果證明此方法可以實現(xiàn)光柵莫爾條紋400倍細分,細分精度優(yōu)于信號周期的±1%。此細分方法利用光柵刻劃精度,信號細分精度與光柵信號波形質量無關,在不增加硬件的條件下實現(xiàn)光柵莫爾條紋精密細分,具有重要實際應用價值。
【作者單位】： 重慶理工大學機械檢測技術與裝備教育部工程研究中心時柵傳感及先進檢測技術重慶市重點實驗室;
【基金】：國家自然基金(51435002;51305478) 重慶市基礎與前沿研究計劃項目(cstc2013jcyja70007) 重慶市教委科學技術研究項目(KJ1500905)資助
【分類號】：TG659;TP212
【正文快照】： 1引言光柵作為位移傳感器大量應用于高精度加工機床、超大規(guī)模集成電路專用設備、高精度量儀等數(shù)字化精密裝備用做位置檢測反饋部件,光柵測量精度直接決定著裝備系統(tǒng)性能和穩(wěn)定性。目前精密位移測量領域90$以上采用的是光柵技術,其測量基準是兩光柵相對運動形成的莫爾條紋,通

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本文編號：1191656