本文關(guān)鍵詞：大型環(huán)拋機蠟盤平面度的測量

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【摘要】：針對大口徑平面光學元件全頻譜面形技術(shù)指標的高效率、高精度收斂,研究了環(huán)形拋光技術(shù)。考慮環(huán)拋機瀝青蠟盤的平面度直接影響工件面形的收斂效率,本文利用準直激光束作為參考,設計研制了測量精度高,重復性精度達到±1μm的大型環(huán)拋機拋光蠟盤平面度測量專用裝置。分析了環(huán)拋過程中蠟盤表面平面度和工件面型PV值之間的變化規(guī)律和相關(guān)性,根據(jù)測量數(shù)據(jù)得出了蠟盤平面度數(shù)據(jù)和工件面形的對應關(guān)系。實驗顯示:當平面度和面形曲線相差較大時,工件面形可快速收斂至1λ左右,并由粗拋向精拋工序快速過渡。提出的大型環(huán)拋機拋光蠟盤平面度監(jiān)測裝置實現(xiàn)了對濕滑膠體平面的高精度、快速測量,為環(huán)拋的確定性拋光工藝提供了重要的技術(shù)支持。
【作者單位】： 中國科學院上海光學精密機械研究所;上海恒益光學精密機械有限公司;華中科技大學光學與電子信息學院;
【關(guān)鍵詞】： 環(huán)形拋光 大型環(huán)拋機 拋光蠟盤 平面度測量
【基金】：國家自然科學基金青年科學基金資助項目(No.61605228)
【分類號】：TG83
【正文快照】： 2.上海恒益光學精密機械有限公司,上海201800;3.華中科技大學光學與電子信息學院,湖北武漢430000)(1.Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics,Chinese Academy of Sciences,Shanghai 201800,China;2.Shanghai Hengyi Optical Precision Machinery Co.,Ltd.,Shanghai

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1 李鳳林;;石蠟成型機的蠟盤平移機構(gòu)[J];石油化工設備技術(shù);1993年01期

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本文編號：1134555