本文關鍵詞：毛細管柱氣相色譜法測定氫氣中的氯化氫

  更多相關文章： 多晶硅生產 離子色譜法 分光光度法 毛細管色譜柱 耗氣量 倒爐 載流 超標現象 紅外光譜法 柱流量

【摘要】：正多晶硅生產中,干法回收氫氣作為原料還原劑和載流氣體,若其中氯化氫含量高,則在多晶硅生產過程的前期可能出現倒爐現象,后期可能出現磷超標現象,嚴重影響多晶硅的質量。因此需對回收氫氣中的氯化氫進行測定。目前測定氯化氫的方法有離子色譜法、分光光度法、紅外光譜法和填充柱氣相色譜法等,采用離子色譜法時需將氯化氫轉化為Cl-進行檢測,存在操作繁瑣、耗氣量大、耗時長等缺點[1-5];采用分光光度
【作者單位】： 昆明冶研新材料股份有限公司云南省光電子硅材料制備技術企業(yè)重點實驗室;
【關鍵詞】： 多晶硅生產;離子色譜法;分光光度法;毛細管色譜柱;耗氣量;倒爐;載流;超標現象;紅外光譜法;柱流量;
【分類號】：O657.8;TQ116.2
【正文快照】： 多晶硅生產中,干法回收氫氣作為原料還原劑和載流氣體,若其中氯化氫含量高,則在多晶硅生產過程的前期可能出現倒爐現象,后期可能出現磷超標現象,嚴重影響多晶硅的質量。因此需對回收氫氣中的氯化氫進行測定。目前測定氯化氫的方法有離子色譜法、分光光度法、紅外光譜法和填充

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