天堂国产午夜亚洲专区-少妇人妻综合久久蜜臀-国产成人户外露出视频在线-国产91传媒一区二区三区

當前位置:主頁 > 科技論文 > 化學工程論文 >

微波介質(zhì)陶瓷諧振器磁控濺射金屬化的研究

發(fā)布時間:2017-10-03 13:16

  本文關鍵詞:微波介質(zhì)陶瓷諧振器磁控濺射金屬化的研究


  更多相關文章: 微波介質(zhì)諧振器 磁控濺射 金屬化復合膜系 膜層附著力 品質(zhì)因數(shù)


【摘要】:因介電常數(shù)高、品質(zhì)因數(shù)高、溫度穩(wěn)定性好,微波介質(zhì)陶瓷被廣泛應用于無線通信、航空航天以及軍用雷達等領域,以制作各種無源微波元件,如介質(zhì)電容器、微波濾波器及介質(zhì)天線等。在目前的高新技術中,電子元器件向更高可靠性和更小尺寸的方向發(fā)展,對高性能的微波介質(zhì)陶瓷的需求日漸緊迫,因此微波介質(zhì)陶瓷成為功能材料領域的研究熱點。微波介質(zhì)加載的腔體濾波器在無線通信基站中有著重要的應用前景,是實現(xiàn)基站濾波器小型化的最佳方案,但是目前因品質(zhì)因數(shù)(Q值)較小而制約了它的實際應用。介質(zhì)加載腔體濾波器的Q值主要由材料的介質(zhì)損耗和金屬膜的電導損耗所決定的,介質(zhì)損耗經(jīng)由材料性質(zhì)的改善已大幅降低,而關于電導損耗的研究較少,金屬化工藝基本仍沿用傳統(tǒng)的絲印燒銀技術。絲印燒銀金屬化膜的電導損耗較大,已成為限制濾波器Q值的主要因素。本文旨在研究新型的微波介質(zhì)陶瓷金屬化工藝,以期降低電導損耗,從而提高器件的Q值。具體的講,本文采用直流磁控濺射工藝對相對介電常數(shù)為45的微波介質(zhì)陶瓷諧振器進行金屬化研究,探究不同的清洗工藝和復合膜系對介質(zhì)諧振器性能的影響,并與傳統(tǒng)的絲印燒銀工藝進行性能比較。磁控濺射是一種綠色環(huán)保的金屬化工藝,將其應用在微波介質(zhì)濾波器領域,對無線基站濾波器的綠色制造及產(chǎn)品性能提高具有積極意義。論文的主要工作和成果有:1.詳細分析了微波介質(zhì)濾波器的應用需求,對微波介質(zhì)陶瓷表面金屬化工藝作了較為全面的分析綜述。針對傳統(tǒng)的絲印燒銀工藝存在的不足,提出了綠色環(huán)保且性能較佳的多層膜系磁控濺射金屬化工藝。2.理論分析了在微波介質(zhì)諧振器表面鍍覆不同膜系、不同厚度的金屬化膜層對于器件性能(如諧振頻率、Q值)的影響,利用HFSS有限元電磁仿真軟件對相對介電常數(shù)為45的微波介質(zhì)陶瓷諧振器進行了仿真分析,結果表明,Cr/Cu/Ag復合膜系理論性能最佳,工作頻率在960MHz附近,理論Q值可達到2720。3.提出了一種射頻等離子清洗和低氣壓濺射過渡層金屬相結合的方法,以提高基底與膜層之間的附著力和器件的Q值、對不同膜系、不同厚度的金屬化膜層進行了一系列的實驗制備與性能驗證,測試比較了膜層的附著力和Q值。實驗表明,經(jīng)表面精細打磨和射頻等離子清洗后的介質(zhì)諧振器,采用磁控濺射Cr/Cu/Ag復合膜系的膜層附著力為6.4 MPa, Q值最大可達到2673,遠優(yōu)于傳統(tǒng)的絲印燒銀工藝的1.8 MPa附著力和2268的Q值。
【關鍵詞】:微波介質(zhì)諧振器 磁控濺射 金屬化復合膜系 膜層附著力 品質(zhì)因數(shù)
【學位授予單位】:浙江大學
【學位級別】:碩士
【學位授予年份】:2016
【分類號】:TQ174.1
【目錄】:
  • 致謝4-6
  • 摘要6-8
  • Abstract8-15
  • 第1章 緒論15-29
  • 1.1 課題研究背景及意義15-17
  • 1.2 基于無線移動通信基站的微波介質(zhì)陶瓷17-23
  • 1.2.1 微波介質(zhì)陶瓷的發(fā)展及研究現(xiàn)狀18-20
  • 1.2.2 介質(zhì)諧振腔體濾波器20-22
  • 1.2.3 微波介質(zhì)陶瓷表面金屬化的必要性22-23
  • 1.3 微波介質(zhì)陶瓷金屬化工藝研究23-27
  • 1.3.1 主要的金屬化方法23-26
  • 1.3.2 現(xiàn)有金屬化工藝的不足26-27
  • 1.4 本課題的主要研究內(nèi)容和章節(jié)安排27-29
  • 第2章 微波介質(zhì)諧振器的理論分析和測量方法29-39
  • 2.1 微波電路基本理論29-30
  • 2.2 微波介質(zhì)諧振器30-37
  • 2.2.1 背景和發(fā)展歷史30-32
  • 2.2.2 基本類型和工作模式32-36
  • 2.2.3 主要技術指標36-37
  • 2.3 介質(zhì)諧振器的測量方法37-38
  • 2.4 本章小結38-39
  • 第3章 微波介質(zhì)諧振器表面金屬化工藝研究和仿真39-57
  • 3.1 金屬化的意義39-41
  • 3.2 設計指標41
  • 3.3 表面狀態(tài)預處理的研究41-47
  • 3.3.1 表面研磨工藝41-42
  • 3.3.2 介質(zhì)清洗方法42-47
  • 3.4 介質(zhì)諧振器表面金屬化設計及性能仿真47-55
  • 3.4.1 多層金屬膜的理論分析47-50
  • 3.4.2 建立仿真模型50-53
  • 3.4.3 仿真結果分析53-55
  • 3.5 本章小結55-57
  • 第4章 金屬化膜層的制備與實現(xiàn)57-67
  • 4.1 金屬化制備所需的實驗設備57-60
  • 4.1.1 等離子清洗裝置57-58
  • 4.1.2 磁控濺射儀58-60
  • 4.2 金屬化膜層的制備60-66
  • 4.2.1 磁控濺射參數(shù)60-61
  • 4.2.2 制備流程61-63
  • 4.2.3 兩步氣壓法濺射過渡層金屬63-64
  • 4.2.4 饋電孔周圍處理方法64-66
  • 4.3 本章小結66-67
  • 第5章 測試結果與分析67-75
  • 5.1 膜層附著力67-70
  • 5.1.1 介質(zhì)表面狀態(tài)67-69
  • 5.1.2 不同的金屬膜系69-70
  • 5.2 質(zhì)因數(shù)Q70-74
  • 5.3 本章小結74-75
  • 第6章 總結與展望75-79
  • 6.1 主要的工作內(nèi)容和成果75-76
  • 6.2 主要存在的問題及后續(xù)可能的改進方向76-79
  • 參考文獻79-83
  • 作者簡介及在校期間取得的科研成果83

【參考文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 楊睛;陳蕾;劉琪;汪宏艷;徐彩紅;;第五代移動通信系統(tǒng)若干關鍵技術概述[J];移動通信;2015年15期

2 桂麗;夏駱輝;;TD-LTE基站射頻一致性測試研究和應用[J];電信科學;2015年05期

3 舒培煉;李毅;蔣招金;;幾種小型移動通信基站的應用對比分析[J];移動通信;2015年09期

4 劉曉琴;蘇曉磊;劉新鋒;屈銀虎;;燒結工藝對銅電子漿料導電性能的影響[J];材料科學與工程學報;2015年01期

5 趙文超;甘國友;嚴繼康;杜景紅;張家敏;劉意春;易健宏;康昆勇;;ZnO摻雜對0.7CaTiO_3-0.3NdAlO_3微波介質(zhì)陶瓷低溫燒結及介電性能的影響[J];人工晶體學報;2015年02期

6 曹良足;彭華倉;嚴君美;吳堅強;;CaTiO_(3-)(La,Nd)AlO_3微波介質(zhì)陶瓷的研究與應用[J];電子元件與材料;2013年08期

7 柳國光;苗俊芳;胡文平;師筱娜;;射頻等離子清洗系統(tǒng)設計[J];電子工業(yè)專用設備;2012年07期

8 楊文偉;杜海文;王大偉;續(xù)艷鑫;;在線低壓等離子清洗研究[J];電子工藝技術;2011年01期

9 付玉紅;陳文文;閆瑞瑞;傅晶;;基于HFSS的1800MHz同軸諧振微波介質(zhì)濾波器的設計及仿真[J];科技創(chuàng)新導報;2010年35期

10 陶婷婷;丁佳鈺;張其土;;摻雜Bi_2Ti_2O_7對Y_2O_3-2TiO_2系微波介質(zhì)陶瓷材料性能的影響[J];材料科學與工程學報;2009年03期

中國博士學位論文全文數(shù)據(jù)庫 前5條

1 沈小虎;鐵氧體耐高溫磁控濺射金屬化膜系及產(chǎn)業(yè)化關鍵問題的研究[D];浙江大學;2013年

2 廖擎瑋;超低損耗AB(Nb,Ta)_2O_8型微波介質(zhì)陶瓷結構與性能的研究[D];天津大學;2012年

3 鄒棟;中介電常數(shù)BaO-TiO_2-Nb_2O_5體系低溫共燒微波介質(zhì)陶瓷[D];浙江大學;2009年

4 童建喜;中介電常數(shù)低溫共燒微波介質(zhì)陶瓷及其器件研究[D];浙江大學;2006年

5 張啟龍;低溫燒結微波介質(zhì)陶瓷及多層片式帶通濾波器研究[D];浙江大學;2004年

中國碩士學位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 孟令寶;Ba_5Nb_4O_(15)陶瓷的低溫燒結工藝及應用研究[D];清華大學;2013年

2 孫盼;TM_(01)模介質(zhì)腔體濾波器的設計[D];華中科技大學;2013年

3 任翔;中介ZnO-Nb_2O_5基微波介質(zhì)陶瓷的研究[D];天津大學;2012年

4 侯林峰;微波濾波器技術的研究[D];西安科技大學;2012年

5 岑嘉寶;鈦酸鋇基PTC陶瓷濺射金屬化的研究[D];浙江大學;2012年

6 張龍;同軸型微波介質(zhì)濾波器研究[D];電子科技大學;2011年

7 羅春婭;新型低損耗微波介質(zhì)材料及器件研究[D];湖北大學;2011年

8 黃亞蒙;BiNbO_4和ZnTiO_3微波介質(zhì)陶瓷改性及其與銅電極共燒[D];浙江大學;2011年

9 王俊;3G移動通信基站用高Q值微波介質(zhì)諧振器陶瓷研究[D];華中科技大學;2011年

10 梁昌舉;多層金屬鍍膜導波結構傳輸特性的研究[D];西安電子科技大學;2010年

,

本文編號:965419

資料下載
論文發(fā)表

本文鏈接:http://www.sikaile.net/kejilunwen/huaxuehuagong/965419.html


Copyright(c)文論論文網(wǎng)All Rights Reserved | 網(wǎng)站地圖 |

版權申明:資料由用戶6bee7***提供,本站僅收錄摘要或目錄,作者需要刪除請E-mail郵箱bigeng88@qq.com