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多晶金剛石固結磨料研磨墊精研石英玻璃的性能探索

發(fā)布時間:2017-08-25 03:25

  本文關鍵詞:多晶金剛石固結磨料研磨墊精研石英玻璃的性能探索


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【摘要】:通過粘結劑將單晶金剛石制成粒徑更大的多晶金剛石。采用SEM觀察了多晶金剛石的微觀形貌,分別制備了單晶和多晶金剛石固結磨料研磨墊,比較了單晶與多晶金剛石固結磨料研磨墊的研磨性能。結果表明:單晶金剛石固結磨料墊與多晶金剛石固結磨料墊精研石英玻璃的表面粗糙度相似;但多晶金剛石固結磨料墊的材料去除率更高且穩(wěn)定;多晶金剛石在研磨過程中的微破碎,確保了其自修整過程的實現(xiàn)。另外,多晶金剛石研結磨料墊研磨的石英玻璃亞表面損傷層深度小,約為原始單晶金剛石粒徑的1/2。
【作者單位】: 南京航空航天大學江蘇省精密與微細制造技術重點實驗室;
【關鍵詞】多晶金剛石 石英玻璃 固結磨料研磨墊 研磨性能
【基金】:航空科學基金(2014ZE52055) 江蘇省精密與微細制造技術重點實驗室開放基金 南京航空航天大學研究生創(chuàng)新基地開放基金(kfjj20160h502)
【分類號】:TQ171.684
【正文快照】: 南京航空航天大學研究生創(chuàng)新基地開放基金(kfjj20160h502)0引言石英玻璃是二氧化硅單一組分的特種工業(yè)玻璃,具有極低的熱膨脹系數(shù),高的耐溫性,極好的化學穩(wěn)定性,優(yōu)良的電絕緣性,在紫外、可見光及近紅外區(qū)域透射性能優(yōu)越。它是空間技術、原子能工業(yè)、國防裝備、通訊等關鍵工業(yè)

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