本文關(guān)鍵詞：雙源氣溶膠輔助化學(xué)氣相沉積制備AZO薄膜

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【摘要】：采用雙源氣溶膠輔助化學(xué)氣相沉積法制備了Al摻雜Zn O薄膜。研究了不同的乙醇和甲醇溶液比例對AZO薄膜各種性能的影響。通過紫外-可見光吸收光譜、原子力顯微鏡、掃描電子顯微鏡和X射線衍射對薄膜性能進行表征。結(jié)果表明通過使用雙源AACVD法可以獲得具有明顯(002)擇優(yōu)取向AZO薄膜,并且在15 m L乙醇和20 m L甲醇時具有最佳的結(jié)晶性能,同時具有最優(yōu)的光電學(xué)性能。不同乙醇和甲醇比例下薄膜的形貌不同。
【作者單位】： 燕山大學(xué)環(huán)境與化學(xué)工程學(xué)院;燕山大學(xué)河北省應(yīng)用化學(xué)重點實驗室;
【關(guān)鍵詞】： 氣溶膠輔助化學(xué)氣相沉積法 摻雜 AZO薄膜
【基金】：河北省高等學(xué)�？茖W(xué)技術(shù)研究項目(ZD20131010)
【分類號】：TQ132.41;TB383.2
【正文快照】： 0引言Zn O是一種六角纖鋅礦直接寬帶隙半導(dǎo)體材料,在室溫下禁帶寬度為3.30 e V,激子結(jié)合能為60 m V[1]。近年來,Zn O在光學(xué)器件、透明導(dǎo)電電極以及薄膜太陽能電池等方面有廣泛的應(yīng)用,引起了人們對其光電性能研究的興趣。Zn O薄膜因其具有化學(xué)穩(wěn)定性好、價格便宜、無毒等特點,

【相似文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前2條

1 齊東麗;馬學(xué)軍;;透明導(dǎo)電氧化物AZO薄膜的制備與性能研究[J];電腦知識與技術(shù);2014年09期

2 ;[J];;年期

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本文編號：699483