本文關鍵詞：氫終結金剛石表面P型導電溝道穩(wěn)定性研究

  更多相關文章： 氫終結 金剛石膜 表面導電性 穩(wěn)定性

【摘要】：原位測試了氫終結金剛石膜在氮氣保護和大氣氣氛中加熱時的表面導電特征,分析并討論了該導電溝道的高溫穩(wěn)定性。結果表明,室溫下氫終結金剛石表面電導率均在10~(-5)S量級。隨著溫度的升高,N_2氣氛下的金剛石膜表面電導率呈現(xiàn)逐漸下降的趨勢,而大氣中加熱的金剛石膜表面電導率則出現(xiàn)了明顯的臺階式降低。對于后者而言,金剛石表面在120℃發(fā)生的第二層水分子脫附和230℃下CH基團的分解,是其電導率發(fā)生階梯式下降的主要原因。而在氮氣(N_2)氣氛下氫終結金剛石膜表面導電溝道表現(xiàn)出更高的分子水脫附溫度(300℃)和氫分解溫度(400℃),表明氣氛保護可有效提高氫終結金剛石表面導電溝道的穩(wěn)定性。
【作者單位】： 北京科技大學新材料技術研究院;北京科技大學鋼鐵冶金新技術國家重點實驗室;河北省半導體所專用集成電路重點實驗室;
【關鍵詞】： 氫終結 金剛石膜 表面導電性 穩(wěn)定性
【基金】：國家自然科學基金(51402013) 中國博士后科學基金特別資助項目(2015T80037);中國博士后科學基金(一等)(2014M550022) 中央高�；究蒲袠I(yè)務費(FRF-TP-15-052A2) 專用集成電路重點實驗室基金
【分類號】：TQ163;TB383.2
【正文快照】： 金剛石具有優(yōu)異的力學、光學[1]、熱學[2]及電學性能,特別是電學方面具有寬帶隙(5.5 e V)、高載流子遷移率(特別是空穴遷移率比單晶Si、Ga As高得多)、低介電常數(shù)(5.7)、高的Johnson指標和Keyse指標(均高于Si和Ga As 10倍以上)等等,因此被譽為高頻高功率電子器件的最佳選擇[3]

【相似文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 宋月清;夏揚;謝元鋒;林晨光;郭志猛;曲選輝;;金剛石熱管理材料的研究進展[J];超硬材料工程;2010年01期

2 王至炎;金剛石的光學選礦[J];建筑材料工業(yè);1963年05期

3 陳昭威;提高燒結多晶金剛石質量的途徑[J];人工晶體;1982年01期

4 林增棟;金剛石表面的金屬化[J];磨料磨具與磨削;1987年02期

5 焦魁一;國外金剛石聚結體的研制技術[J];磨料磨具與磨削;1987年05期

6 何曉軍;;金剛石表面滲覆金屬層的研究[J];地質與勘探;1987年03期

7 A·T·Collins,曹承安 ,鄭玉琢;新金剛石科學與技術[J];磨料磨具與磨削;1990年03期

8 王嵐,高學緒;金剛石表面的金屬化[J];北京科技大學學報;1997年05期

9 王艷輝,王明智,臧建兵;金剛石真空微蒸發(fā)鍍鈦技術新進展及應用[J];金剛石與磨料磨具工程;1998年03期

10 馮連武;;金剛石的表面化學[J];國外非金屬礦;1986年01期

中國重要會議論文全文數(shù)據(jù)庫 前8條

1 廖道達;陸德強;劉文燕;邱君苑;;金剛石錦上添花[A];2005年中國機械工程學會年會第11屆全國特種加工學術會議專輯[C];2005年

2 鄭云龍;楊志軍;曾祥清;艾群;彭明生;;金剛石典型表面形貌的形成與環(huán)境意義[A];2012年全國礦物科學與工程學術研討會論文集[C];2012年

3 王超;揭曉華;徐江;陶洪亮;魏菊;;雙陰極等離子濺射金剛石顯微結構研究[A];2013廣東材料發(fā)展論壇——戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展與新材料科技創(chuàng)新研討會論文摘要集[C];2013年

4 劉鵬;謝水生;李木森;郝兆印;程開甲;;新型碳源高溫高壓合成及外延金剛石[A];中國有色金屬學會合金加工學術委員會2008學術年會論文集[C];2008年

5 楊志軍;彭明生;蒙宇飛;苑執(zhí)中;張恩;;鐵基合金-氫預處理石墨系高溫高壓合成金剛石的研究及其意義[A];中國礦物巖石地球化學學會第十屆學術年會論文集[C];2005年

6 廖源;沈維康;王冠中;余慶選;馬玉蓉;方容川;;摻氮氣氛下CVD金剛石的場致發(fā)射特性研究[A];第九屆全國發(fā)光學術會議摘要集[C];2001年

7 袁定勝;劉應亮;李穎;張靜嫻;;化學鍍Cu-Ni-P金剛石復合材料的研究[A];第七屆全國化學鍍會議論文集[C];2004年

8 楊志軍;彭明生;李紅中;陳軍;林峰;石貴勇;蒙宇飛;付偉;;Fe-C(H)系與Ni-C系高溫高壓合成金剛石品級的對比研究[A];中國礦物巖石地球化學學會第11屆學術年會論文集[C];2007年

中國博士學位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 王珊珊;金剛石薄膜電極的制備及其在鋁電解中的應用研究[D];大連理工大學;2014年

2 許蓬子;金剛石材料逆向磨損去除加工的研究[D];吉林大學;2016年

3 周林;摻硫粉末體系中工業(yè)金剛石的高溫高壓合成[D];吉林大學;2008年

4 李麗;高溫高壓金剛石生長機理的價電子理論及熱力學分析[D];山東大學;2008年

5 王美;基于生物傳感器應用的摻硼金剛石電極共價修飾[D];山東大學;2009年

6 高峰;高品級超細顆粒金剛石的高溫高壓合成[D];吉林大學;2008年

7 苑澤偉;利用化學和機械協(xié)同作用的CVD金剛石拋光機理與技術[D];大連理工大學;2012年

8 李多生;大尺寸金剛石厚膜球冠制備機理與工藝研究[D];南京航空航天大學;2008年

9 劉萬強;柱狀工業(yè)金剛石的高溫高壓合成與表征[D];吉林大學;2008年

10 黑立富;氣體循環(huán)直流旋轉電弧等離子體噴射法生長金剛石大單晶研究[D];北京科技大學;2015年

中國碩士學位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 袁婷;華北地臺和揚子地臺金剛石生長過程的差異性及意義[D];中國地質大學;2009年

2 劉向紅;n型摻雜金剛石的第一性原理研究[D];山東大學;2011年

3 衛(wèi)陳龍;金剛石表面金屬化及金剛石/銅復合材料微波燒結工藝研究[D];昆明理工大學;2015年

4 林佳志;摩擦化學拋光單晶金剛石的工藝研究[D];大連理工大學;2015年

5 潘鑫;等離子體刻蝕增強CVD金剛石膜拋光的研究[D];武漢工程大學;2015年

6 程勇;新金剛石的實驗制備及其晶體結構的第一性原理研究[D];燕山大學;2015年

7 苗衛(wèi)朋;超細金剛石包覆處理和P-G法制備粉體的研究[D];燕山大學;2015年

8 貢趙軍;利用離子束注入技術人工制備塊狀金剛石氮—空穴色心[D];中國科學技術大學;2015年

9 林克英;超細金剛石微粉的提純及分級工藝研究[D];中國地質大學;2006年

10 張倫超;金剛石中的超導機理探討[D];山東大學;2010年

，

本文編號：647140