本文關(guān)鍵詞：藍(lán)寶石基片的磁流變化學(xué)拋光試驗研究

  更多相關(guān)文章： 藍(lán)寶石基片 磁流變化學(xué)拋光 材料去除率 超光滑鏡面

【摘要】：分析了磁流變化學(xué)拋光的加工機(jī)理,對藍(lán)寶石基片的磁流變化學(xué)拋光進(jìn)行了試驗研究。結(jié)果表明:磁流變化學(xué)拋光可將藍(lán)寶石基片加工到亞納米級粗糙度的超光滑鏡面,材料去除率受化學(xué)反應(yīng)速率和剪切去除作用共同影響,化學(xué)反應(yīng)速率越快,剪切去除作用越強(qiáng),材料去除率越高;混有硅膠溶液與α-Al2O3磨料的磁流變化學(xué)拋光液去除率最高;材料去除率隨工作間隙,勵磁間隙以及加工時間的增大而減少,隨鐵粉濃度減少而減少;利用磁流變化學(xué)拋光方法加工藍(lán)寶石基片可獲得Ra 0.3 nm的超光滑表面。
【作者單位】： 湖南大學(xué)國家高效磨削工程技術(shù)研究中心;大連理工大學(xué)精密與特種加工教育部重點(diǎn)實(shí)驗室;長沙納美特超精密制造技術(shù)有限公司;
【關(guān)鍵詞】： 藍(lán)寶石基片 磁流變化學(xué)拋光 材料去除率 超光滑鏡面
【基金】：國家自然科學(xué)基金(51205120) 國際科技合作與交流專項(2014DFG72480) 大連理工大學(xué)精密與特種加工教育部重點(diǎn)實(shí)驗室開放基金資助項目
【分類號】：TQ163
【正文快照】： 0前言*近年來,藍(lán)寶石作為一種重要的技術(shù)晶體,已被廣泛應(yīng)用于紅外軍事裝置、衛(wèi)星空間技術(shù)、高強(qiáng)度激光裝置的窗口材料等國防領(lǐng)域,同時也廣泛運(yùn)用在半導(dǎo)體Ga N/Al2O3發(fā)光二極管(LED)、大規(guī)模集成電路SOI和SOS及超導(dǎo)納米結(jié)構(gòu)薄膜等民用領(lǐng)域[1-3]。特別是隨著LED技術(shù)的快速發(fā)展,

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本文編號：596988