本文關(guān)鍵詞：固結(jié)磨料拋光LBO晶體非水基拋光液優(yōu)化

  更多相關(guān)文章： 固結(jié)磨料拋光 非水基拋光液 材料去除率 表面粗糙度

【摘要】：三硼酸鋰(LBO)晶體是優(yōu)良的非線性光學(xué)晶體材料,拋光后晶體表面水份殘留導(dǎo)致晶體潮解,影響器件的使用性能。采用非水基拋光液固結(jié)磨料拋光LBO晶體,降低水含量,研究非水基拋光液中去離子水、乳酸、雙氧水等含量對材料去除率和表面粗糙度的影響,并綜合優(yōu)化得到高材料去除率和優(yōu)表面質(zhì)量的拋光液組分。研究表明,拋光液中去離子水濃度16%、乳酸22%、雙氧水5%為最優(yōu)拋光液組分,采用優(yōu)化的拋光液固結(jié)磨料拋光LBO晶體的材料去除率達(dá)到392nm/min,表面粗糙度為0.62nm,實(shí)現(xiàn)了LBO晶體表面的高效高質(zhì)量拋光,同時避免了拋光過程中水的大量使用。
【作者單位】： 南京航空航天大學(xué)機(jī)電學(xué)院;中國科學(xué)院理化技術(shù)研究所功能晶體與激光技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： 固結(jié)磨料拋光 非水基拋光液 材料去除率 表面粗糙度
【基金】：國家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(51175260) 中國博士后科學(xué)基金資助項(xiàng)目(2014M551586) 江蘇省博士后科研計劃資助項(xiàng)目(1302069B)
【分類號】：TQ131.11;O786
【正文快照】： 0引言三硼酸鋰(LiB3O5、LBO)晶體是具有優(yōu)良性質(zhì)的非線性光學(xué)晶體材料,其因透光范圍寬、損傷閾值高、接受角大、倍頻轉(zhuǎn)換效率高等特點(diǎn),在近紅外、可見光和紫外波段高功率激光的倍頻、和頻、參量振蕩和放大器件以及腔內(nèi)倍頻器件等領(lǐng)域中有著廣泛的應(yīng)用[1-2]。LBO晶體屬于軟脆材

【相似文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前1條

1 吉小超;張偉;于鶴龍;魏敏;汪勇;郭永明;;45鋼在超細(xì)SiC顆粒作用下的正向沖蝕行為[J];中國表面工程;2012年05期

，

本文編號：565335