三氯氫硅是生產(chǎn)多晶硅的主要原料,而高純度的三氯氫硅是重要的硅外延片用電子特氣,是制造電子元器件精密加工從而推動信息化和工業(yè)化深度融合的關(guān)鍵基礎(chǔ)原材料。但三氯氫硅在空氣中極易燃燒,其生產(chǎn)、檢測、充裝、倉儲以及運輸過程中都存在較大的安全風(fēng)險。介紹了三氯氫硅的物性特點,從工藝設(shè)計、物料輸送、生產(chǎn)管控、儲存以及充裝等方面進(jìn)行全方位安全分析,并采取有效的防范措施和合理的建議,使安全風(fēng)險降低到可控范圍內(nèi),提升三氯氫硅的安全生產(chǎn)水平,確保三氯氫硅可以安全高效地應(yīng)用于光伏及半導(dǎo)體行業(yè)。

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圖6改造后氣水混合器的結(jié)構(gòu)圖

圖6改造后氣水混合器的結(jié)構(gòu)圖

圖2.11不同溫度下氯氣擴散距離曲線圖

事故后果模擬在三氯氫硅生產(chǎn)裝置安全評價中的應(yīng)用研究溫度影響分析速為1.5m·s-1只改變環(huán)境的溫度，研究溫度在-15℃-30℃范圍內(nèi)氯氣的擴散RPG-1和ERPG-2濃度下氯氣的擴散距離不隨溫度的變化而變化。由不同散距離曲線圖可知：ERPG-3濃度下氯氣的擴散距離隨著....

圖1.8以STC和TCS混合物為原料制備多晶硅流程圖

用三氯氫硅進(jìn)行改良西門子法生產(chǎn)多晶硅的工藝流程還是比較安全的,而且方便運輸和儲存,并且經(jīng)過幾十年的發(fā)展,不斷對其進(jìn)行改良,其形成了成套的技術(shù)流程,產(chǎn)品純度高,能夠滿足生產(chǎn)電子級多晶硅的要求。雖然改良西門子法基本實現(xiàn)了H2、SiHCl3、SiCl4和HCl的循環(huán)利用,但是其循環(huán)系統(tǒng)....

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