隨著電子技術(shù)的飛速發(fā)展,電子元器件的高度集成化成為必然趨勢。高度集成化封裝模塊需要良好的散熱承載系統(tǒng),尤其是近年來多芯片組件技術(shù)的迅猛發(fā)展對承載線路板的散熱能力提出了更高的要求。超高導(dǎo)熱陶瓷基板以其優(yōu)良的導(dǎo)熱性和氣密性,成為新一代大規(guī)模集成電路的理想封裝材料。從毛坯到成品,陶瓷基板通常需要進行鉆孔、切割以及開槽等二次加工,尤其是需要進行大量圓孔和異型孔加工,但陶瓷材料的硬脆特性為其加工帶來了極大的困難。目前制約工程陶瓷材料廣泛應(yīng)用的最主要原因就是其加工成本高。據(jù)統(tǒng)計工程陶瓷零件的加工成本占到總成本的50%以上,對于許多精密零件,其加工成本甚至高達90%。顯然,超高導(dǎo)熱陶瓷基板的大規(guī)模應(yīng)用在很大程度上取決于工程陶瓷零件加工技術(shù)的發(fā)展。超聲加工由于不受工件的電、化學(xué)特性的影響,不改變工件材料理化性能,是公認的加工陶瓷等硬脆材料的有效方法。但由于現(xiàn)有的超聲電源功率有限,提高單頻超聲加工系統(tǒng)的振幅難以實現(xiàn),致使傳統(tǒng)超聲加工的效率較低,不能滿足工業(yè)化生產(chǎn)的需求。為此,本文提出了一種工程陶瓷復(fù)頻加工方法,通過對工程陶瓷復(fù)頻超聲加工機理進行研究,研制了工程陶瓷材料復(fù)頻超聲加工實驗系統(tǒng),實現(xiàn)了對工程陶... 

【文章頁數(shù)】：84 頁

【學(xué)位級別】：碩士

【文章目錄】：
摘要
ABSTRACT
第一章 緒論
    1.1 課題來源與研究背景
    1.2 國內(nèi)外研究動態(tài)
        1.2.1 工程陶瓷孔加工的研究進展
        1.2.2 復(fù)頻超聲加工研究進展
    1.3 主要研究內(nèi)容
第二章 工程陶瓷復(fù)頻超聲加工機理研究
    2.1 復(fù)頻超聲加工單元驅(qū)動特性研究
        2.1.1 復(fù)頻超聲加工單元的工作原理
        2.1.2 自由質(zhì)量塊的碰撞特性分析
    2.2 碳化硅工程陶瓷裂紋產(chǎn)生的臨界條件研究
        2.2.1硬脆材料的壓痕實驗
        2.2.2 工程陶瓷材料裂紋產(chǎn)生的數(shù)學(xué)模型
        2.2.3 壓痕法測定碳化硅工程陶瓷裂紋產(chǎn)生臨界載荷
    2.3 工程陶瓷復(fù)頻超聲加工的材料去除率數(shù)學(xué)模型
    2.4 本章小結(jié)
第三章 復(fù)頻超聲加工實驗系統(tǒng)的研制
    3.1 復(fù)頻超聲加工單元的設(shè)計
        3.1.1 超聲波發(fā)生器和換能器的選型
        3.1.2 超聲變幅桿的設(shè)計
        3.1.3 自由質(zhì)量塊的設(shè)計
        3.1.4 鉆桿的設(shè)計
        3.1.5 復(fù)頻超聲加工單元的諧響應(yīng)分析
    3.2 復(fù)頻超聲加工單元振動頻率測定
    3.3 復(fù)頻超聲加工單元鉆削性能測試
    3.4 自由質(zhì)量塊的優(yōu)化設(shè)計
        3.4.1 復(fù)頻超聲加工單元頻率不穩(wěn)定現(xiàn)象分析
        3.4.2 自由質(zhì)量塊的削邊改進設(shè)計
    3.5 鉆桿的優(yōu)化設(shè)計
        3.5.1 鉆桿鉆頭的YT15 替換改進設(shè)計
        3.5.2 鉆桿鉆頭的激光熔覆改進設(shè)計
        3.5.3 鉆桿鉆頭的硬度檢測
        3.5.4氧化鋁工程陶瓷復(fù)頻超聲加工對比實驗
    3.6 復(fù)頻超聲加工實驗系統(tǒng)的研制
    3.7 本章小結(jié)
第四章 工程陶瓷復(fù)頻超聲加工材料去除率研究
    4.1 實驗方案設(shè)計
    4.2復(fù)頻超聲加工的單因素實驗
        4.2.1 自由質(zhì)量塊厚度對加工效率的影響
        4.2.2 自由質(zhì)量塊運動間隙對加工效率的影響
        4.2.3 軸向靜壓力對加工效率的影響
    4.3復(fù)頻超聲加工的正交實驗
    4.4 本章小結(jié)
第五章 工程陶瓷復(fù)頻超聲加工表面質(zhì)量研究
    5.1 工程陶瓷復(fù)頻超聲加工崩邊機理分析
    5.2 自由質(zhì)量塊捕捉裝置研制
        5.2.1 自由質(zhì)量塊捕捉裝置的設(shè)計
        5.2.2 自由質(zhì)量塊捕捉裝置性能測試
    5.3 自由質(zhì)量塊捕捉時間對表面質(zhì)量的影響
    5.4 工程陶瓷的復(fù)頻超聲雙面加工
    5.5 本章小結(jié)
第六章 全文總結(jié)及展望
    6.1 總結(jié)
    6.2 展望
參考文獻
致謝
攻讀學(xué)位期間發(fā)表的學(xué)術(shù)論文


【參考文獻】：
期刊論文
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本文編號：3727592