改良西門子法多晶硅生產(chǎn)尾氣回收裝置尾氣粗分離單元、氣體輸送單元、氯化氫吸收單元、氯化氫解析單元、H₂凈化單元五個單元,還原爐尾氣中雜質(zhì)BC1₃, PC1₃,以及單質(zhì)B, P等通過煙氣吸收、加壓冷凝,吸收解析,氫氣凈化過程中從氫氣中分離,提純后氫氣送至還原爐循環(huán)利用。文章通過分析5個單元工藝流程中可能存在問題,并提出改進方向可以提高循環(huán)氫氣雜質(zhì)去除效果,保證還原爐化學氣相沉積過程中循環(huán)氫氣純度。 

【文章來源】：化工管理. 2020,(33)

【文章頁數(shù)】：2 頁

【部分圖文】：

改良西門子法尾氣回收工藝流程圖

【參考文獻】：
期刊論文
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本文編號：3374645