<正>林德集團(tuán)最近宣布,其為積塔半導(dǎo)體建造的一臺制氮機(jī)在上海開機(jī)成功,林德與積塔半導(dǎo)體簽訂了一份為期20年的超高純工業(yè)用氣供應(yīng)合約,目前開機(jī)運(yùn)行的為計(jì)劃建造的兩臺高純制氮機(jī)中的第一臺,第二臺預(yù)計(jì)將于2022年上線啟用。該臺制氮機(jī)位于上海臨港產(chǎn)業(yè)區(qū),將為積塔半導(dǎo)體造價(jià)高達(dá) 

【文章來源】：上�；�. 2020,45(03)

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