本文關鍵詞：超聲噴霧熱解法制備MgO薄膜及性能研究，，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【摘要】：采用自制超聲噴霧熱解裝置制得MgO薄膜,用X射線衍射、掃描電子顯微鏡、紫外可見光分光光度計等研究了MgO薄膜的晶體及微觀結構。結果表明,隨著沉積溫度的提高,薄膜的結晶性能變好,光透射率隨之升高;當沉積溫度為650℃時,薄膜的晶粒為52.295nm,在可見光波段透射率達到77%。沉積溫度對MgO薄膜的晶體結構、表面形貌以及光學特性有顯著影響,是調控MgO薄膜結構和光學特性的有效手段。
【作者單位】： 南京郵電大學電子科學與工程學院;南京大學(蘇州)高新技術研究院;南京郵電大學理學院先進功能陶瓷研究中心;
【關鍵詞】： MgO薄膜 超聲噴霧熱解 溫度 致密性
【基金】：國家自然科學基金項目(51172110,11405089) 江蘇省自然科學基金青年基金資助項目(BK20130376,BK20130855) 江蘇省高校自然科學研究資助項目(13KJB140012) 江蘇省“六大人才高峰”高層次人才項目(2014-XCL-015) 南郵校級科研項目(NY214131)
【分類號】：TQ132.2;TB383.2
【正文快照】： 隨著半導體產業(yè)的迅速發(fā)展,傳統(tǒng)的硅(Si)基半導體元件的特征尺寸邁入了微米甚至納米數量級,人們對元件小型化的需求越來越迫切,客觀要求一些具有優(yōu)異的壓電、鐵電及高溫超導性能的薄膜材料在Si襯底上有良好的集成,但二者之間存在較大的晶格失配,影響了薄膜材料的應用[1],而氧

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