本文關鍵詞：磁控濺射沉積抗氧化、長壽命二硫化鉬基復合薄膜

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【摘要】：采用磁控濺射技術(shù)制備了MoS_2,Ti/MoS_2,Pb/MoS_2和Pb-Ti/MoS_2復合薄膜.通過AFM,SEM和XRD對薄膜的形貌和結(jié)構(gòu)進行分析;利用納米壓痕儀,CSM摩擦試驗機和Bainano高真空摩擦試驗機分析薄膜的力學和摩擦學性能,并探討了Pb、Ti摻雜對薄膜的結(jié)構(gòu),力學和摩擦學性質(zhì)的影響.結(jié)果表明:Pb-Ti/MoS_2復合薄膜具有非常致密的結(jié)構(gòu),表面光滑平整,且具有較高的硬度;Pb、Ti共摻雜顯著提高MoS_2薄膜在RH75%高濕度環(huán)境下和真空環(huán)境下的摩擦學性能,在潮濕大氣和真空環(huán)境下磨損率分別為未摻雜MoS_2的13%和25%,且低于單一摻雜MoS_2薄膜.PbTi/MoS_2復合薄膜優(yōu)異的摩擦學性能得益于Pb摻雜元素增加薄膜結(jié)構(gòu)的致密度和Ti摻雜元素提高薄膜的抗氧化和力學性能.
【作者單位】： 中國科學院蘭州化學物理研究所固體潤滑國家重點實驗室;中國科學院大學;中國科學院寧波材料技術(shù)與工程研究所中國科學院海洋新材料與應用技術(shù)重點實驗室;中國科學院寧波材料技術(shù)與工程研究所浙江省海洋材料與防護技術(shù)重點實驗室;
【基金】：國家自然科學基金項目(21373249,51322508)資助~~
【分類號】：TQ136.12;TB383.2
【正文快照】： 2.中國科學院寧波材料技術(shù)與工程研究所a.中國科學院海洋新材料與應用技術(shù)重點實驗室,b.浙江省海洋材料與防護技術(shù)重點實驗室,浙江寧波315201;3.中國科學院大學,北京100049)Received 27 April 2016,revised 8 August 2016,accepted 22 August 2016,available online 28 Novemb

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本文編號：1205864