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碘化銦多晶提純及薄膜制備

發(fā)布時(shí)間:2017-08-12 00:18

  本文關(guān)鍵詞:碘化銦多晶提純及薄膜制備


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【摘要】:隨著化石能源的日益枯竭,風(fēng)能、核能和光伏發(fā)電被譽(yù)為是解決全球能源和環(huán)境污染的三大技術(shù),其中核能的安全利用和檢測(cè)逐漸成為研究熱點(diǎn)。核輻射探測(cè)半導(dǎo)體材料有著廣闊的發(fā)展前景,而碘化銦(InI)晶體以其較大的禁帶寬度,電阻率和載流子遷移率-壽命積,較高的探測(cè)效率和能量分辨率等優(yōu)異性質(zhì),得到了國(guó)際核輻射探測(cè)材料研究領(lǐng)域的重點(diǎn)關(guān)注。鑒于碘化銦晶體在核輻射探測(cè)等領(lǐng)域的誘人前景,本文主要基于晶體缺陷和薄膜生長(zhǎng)等結(jié)晶學(xué)理論,一方面探討了高純、近化學(xué)計(jì)量比的碘化銦多晶的提純工藝,并對(duì)樣品的組分、結(jié)構(gòu)以及雜質(zhì)濃度進(jìn)行了表征;另一方面探討了制備碘化銦多晶薄膜的具體生長(zhǎng)工藝,通過(guò)對(duì)其結(jié)構(gòu)和光學(xué)性能的分析細(xì)致探討了碘化銦多晶薄膜應(yīng)用到核輻射探測(cè)器中的可行性。首先,對(duì)碘化銦晶體的能帶結(jié)構(gòu)、晶體結(jié)構(gòu)等基本特性,晶體生長(zhǎng)過(guò)程中幾種常見(jiàn)缺陷的形成機(jī)理及其影響,以及薄膜生長(zhǎng)過(guò)程的各個(gè)階段進(jìn)行了詳細(xì)論述和分析,為接下來(lái)的實(shí)驗(yàn)提供了理論基礎(chǔ)。其次,通過(guò)對(duì)區(qū)熔提純?cè)硪约暗饣煻嗑匦苑治?獲得了適于碘化銦多晶區(qū)熔提純的速率、溫度等工藝參數(shù)。利用水平區(qū)熔法對(duì)碘化銦多晶進(jìn)行了提純,最后通過(guò)X射線粉末衍射儀(XRD)、掃描電子顯微鏡-能譜儀(SEM-EDS)以及電感耦合等離子體原子發(fā)射光譜儀(ICP-AES)對(duì)提純前后的碘化銦多晶的晶格結(jié)構(gòu)、形貌組分以及雜質(zhì)濃度進(jìn)行了詳細(xì)表征。最后,采用真空蒸發(fā)法制備了碘化銦多晶薄膜,通過(guò)XRD、SEM以及紫外可見(jiàn)分光光度計(jì)(UV-Vis)對(duì)所制備的碘化銦多晶薄膜晶體結(jié)構(gòu)、表面形貌以及光學(xué)性能等進(jìn)行了詳細(xì)表征。
【關(guān)鍵詞】:核輻射探測(cè)器 提純 多晶薄膜 碘化銦
【學(xué)位授予單位】:燕山大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】:碩士
【學(xué)位授予年份】:2016
【分類號(hào)】:O614.372;TL81
【目錄】:
  • 摘要4-5
  • ABSTRACT5-9
  • 第1章 緒論9-17
  • 1.1 室溫半導(dǎo)體核輻射探測(cè)材料研究背景9-11
  • 1.2 室溫半導(dǎo)體核輻射探測(cè)器的工作原理11-13
  • 1.3 碘化銦晶體的研究進(jìn)展13-14
  • 1.4 課題研究的目的及意義14-15
  • 1.5 本文研究的主要內(nèi)容15-17
  • 第2章 結(jié)晶學(xué)理論基礎(chǔ)17-30
  • 2.1 碘化銦的基本性質(zhì)17-19
  • 2.1.1 碘化銦的晶體結(jié)構(gòu)17-18
  • 2.1.2 碘化銦的能帶結(jié)構(gòu)18-19
  • 2.1.3 碘化銦的基本材料性質(zhì)19
  • 2.2 晶體缺陷19-23
  • 2.2.1 點(diǎn)缺陷19-21
  • 2.2.2 線缺陷(位錯(cuò))21-23
  • 2.2.3 面缺陷23
  • 2.3 薄膜生長(zhǎng)理論概述23-29
  • 2.3.1 吸附24-25
  • 2.3.2 表面擴(kuò)散25-26
  • 2.3.3 凝結(jié)26-27
  • 2.3.4 薄膜的形核和生長(zhǎng)27-28
  • 2.3.5 連續(xù)薄膜的形成28-29
  • 2.4 本章小結(jié)29-30
  • 第3章 碘化銦多晶提純30-43
  • 3.1 引言30
  • 3.2 碘化銦多晶合成30-34
  • 3.2.1 碘化銦多晶合成原理30-31
  • 3.2.2 氣相生長(zhǎng)法簡(jiǎn)介31-32
  • 3.2.3 碘化銦多晶的合成工藝32-34
  • 3.3 碘化銦多晶提純34-38
  • 3.3.1 晶體提純方法34-37
  • 3.3.2 碘化銦多晶提純37-38
  • 3.4 碘化銦多晶的提純效果表征38-42
  • 3.4.1 X射線粉末衍射分析39-40
  • 3.4.2 SEM-EDS分析40-41
  • 3.4.3 ICP-AES分析41-42
  • 3.5 本章小結(jié)42-43
  • 第4章 碘化銦多晶薄膜制備及表征43-54
  • 4.1 引言43
  • 4.2 多晶薄膜制備43-47
  • 4.2.1 薄膜的制備方法43-46
  • 4.2.2 碘化銦多晶薄膜制備46-47
  • 4.3 碘化銦多晶薄膜的性能表征47-53
  • 4.3.1 X射線粉末衍射分析48-50
  • 4.3.2 SEM分析50
  • 4.3.3 光學(xué)性質(zhì)分析50-53
  • 4.4 本章小結(jié)53-54
  • 結(jié)論54-56
  • 參考文獻(xiàn)56-60
  • 攻讀碩士學(xué)位期間承擔(dān)的科研任務(wù)與主要成果60-61
  • 致謝61

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5 付浪;碲化鎘太陽(yáng)電池及相關(guān)薄膜的電子輻照特性研究[D];四川大學(xué);2007年

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本文編號(hào):658902

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