大尺寸Y方向鉭酸鎵鑭壓電晶體生長(zhǎng)及性能研究
發(fā)布時(shí)間:2022-02-10 01:32
成功采用提拉法生長(zhǎng)了尺寸?80 mm×100 mm的Y方向鉭酸鎵鑭壓電晶體,晶體整體透明、無(wú)包裹體。采用LCR電橋測(cè)量了晶體的相對(duì)介電常數(shù),采用諧振-反諧振法測(cè)量了壓電應(yīng)變常數(shù)。研究了頭尾之間性能差異性,頭尾頻率常數(shù)均勻性達(dá)到99.95%,表明晶體存在良好的性能均勻性。此外,還對(duì)(010)晶面進(jìn)行了搖擺曲線(xiàn)和頻率溫度系數(shù)測(cè)試,測(cè)得FHMW和TCF值分別為38.5″、1.23ppm/K。
【文章來(lái)源】:人工晶體學(xué)報(bào). 2020,49(06)北大核心
【文章頁(yè)數(shù)】:4 頁(yè)
【部分圖文】:
(010)面搖擺曲線(xiàn)
圖2為(010)面的XRD搖擺曲線(xiàn),曲線(xiàn)的峰形尖銳,強(qiáng)度高,峰形對(duì)稱(chēng)性好,半高全峰寬(FHMW)為38.5″,表明晶體結(jié)構(gòu)完整,結(jié)晶性良好。圖2 (010)面搖擺曲線(xiàn)
S= min(Ν 頭 ,Ν 尾 ) max(Ν 頭 ,Ν 尾 ) ×100% (7)式中N頭—晶體等徑部分頭部所取測(cè)試片測(cè)得的頻率常數(shù),N尾—等徑部分尾部所取測(cè)試片測(cè)得的頻率常數(shù)。晶體頭尾頻率測(cè)試均勻性測(cè)試結(jié)果為99.95%,表明晶體具有良好的均勻性。
本文編號(hào):3618004
【文章來(lái)源】:人工晶體學(xué)報(bào). 2020,49(06)北大核心
【文章頁(yè)數(shù)】:4 頁(yè)
【部分圖文】:
(010)面搖擺曲線(xiàn)
圖2為(010)面的XRD搖擺曲線(xiàn),曲線(xiàn)的峰形尖銳,強(qiáng)度高,峰形對(duì)稱(chēng)性好,半高全峰寬(FHMW)為38.5″,表明晶體結(jié)構(gòu)完整,結(jié)晶性良好。圖2 (010)面搖擺曲線(xiàn)
S= min(Ν 頭 ,Ν 尾 ) max(Ν 頭 ,Ν 尾 ) ×100% (7)式中N頭—晶體等徑部分頭部所取測(cè)試片測(cè)得的頻率常數(shù),N尾—等徑部分尾部所取測(cè)試片測(cè)得的頻率常數(shù)。晶體頭尾頻率測(cè)試均勻性測(cè)試結(jié)果為99.95%,表明晶體具有良好的均勻性。
本文編號(hào):3618004
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