本文關(guān)鍵詞：高分辨二次離子質(zhì)譜超高真空樣品臺的研制

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【摘要】：目前,微束類分析儀器的一次離子束斑越來越精細(xì),直徑已達(dá)到微米級甚至亞微米級,儀器真空度也已達(dá)到穩(wěn)定的超高真空水平,因此,亟需研制一種與之相匹配的高分辨樣品臺,提高在超高真空環(huán)境下的分辨力及定位精度。新研制的樣品臺,通過置于真空腔體外部的高精度滑臺驅(qū)動小型焊接波紋管的伸縮傳遞三維運(yùn)動,解決了大尺寸焊接波紋管表面放氣及承受較大大氣壓力的問題;通過使用適用于超高真空的材料和固體潤滑、無動態(tài)密封,解決了高真空中摩擦偶件的潤滑問題。實驗數(shù)據(jù)表明:在40mm行程范圍內(nèi),運(yùn)動平臺三軸定位重復(fù)性為0.94、1.83、0.38μm,分辨力為0.10μm,并已成功地應(yīng)用在1.19×10-6 Pa超真空環(huán)境下。外置的高精度滑臺不僅克服了真空電機(jī)在真空腔體內(nèi)發(fā)熱及絕緣材料放氣的問題,而且不需要引入任何電子電氣元件及導(dǎo)線,不會在分析腔室內(nèi)產(chǎn)生電磁干擾,行程不受裝置本身的限制。這些特性不僅可滿足二次離子質(zhì)譜儀的要求,也適用于具有高分辨、超高真空環(huán)境、無污染要求的其他分析測試儀器。
【作者單位】： 中國地質(zhì)科學(xué)院地質(zhì)研究所北京離子探針中心;
【關(guān)鍵詞】： 二次離子探針質(zhì)譜 三維樣品臺 超高真空 真空電機(jī) 固體潤滑
【基金】：國家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項《同位素地質(zhì)學(xué)專用TOF-SIMS科學(xué)儀器》(2011YQ050069)資助
【分類號】：O657.63
【正文快照】： 隨著地球科學(xué)、宇宙科學(xué)、材料科學(xué)、生命科學(xué)及半導(dǎo)體微電子行業(yè)的發(fā)展和儀器制造水平的提高,微束類分析儀器的一次離子束斑直徑越來越小,樣品臺移動的步距也越來越小,即分辨力越來越高,對樣品的分析越來越精細(xì)。所有微區(qū)原位分析的微束類儀器在使用時都要涉及一個重要的部件，

本文編號：1052218