本文關(guān)鍵詞：高分辨二次離子質(zhì)譜超高真空樣品臺(tái)的研制

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【摘要】：目前,微束類(lèi)分析儀器的一次離子束斑越來(lái)越精細(xì),直徑已達(dá)到微米級(jí)甚至亞微米級(jí),儀器真空度也已達(dá)到穩(wěn)定的超高真空水平,因此,亟需研制一種與之相匹配的高分辨樣品臺(tái),提高在超高真空環(huán)境下的分辨力及定位精度。新研制的樣品臺(tái),通過(guò)置于真空腔體外部的高精度滑臺(tái)驅(qū)動(dòng)小型焊接波紋管的伸縮傳遞三維運(yùn)動(dòng),解決了大尺寸焊接波紋管表面放氣及承受較大大氣壓力的問(wèn)題;通過(guò)使用適用于超高真空的材料和固體潤(rùn)滑、無(wú)動(dòng)態(tài)密封,解決了高真空中摩擦偶件的潤(rùn)滑問(wèn)題。實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)表明:在40mm行程范圍內(nèi),運(yùn)動(dòng)平臺(tái)三軸定位重復(fù)性為0.94、1.83、0.38μm,分辨力為0.10μm,并已成功地應(yīng)用在1.19×10-6 Pa超真空環(huán)境下。外置的高精度滑臺(tái)不僅克服了真空電機(jī)在真空腔體內(nèi)發(fā)熱及絕緣材料放氣的問(wèn)題,而且不需要引入任何電子電氣元件及導(dǎo)線,不會(huì)在分析腔室內(nèi)產(chǎn)生電磁干擾,行程不受裝置本身的限制。這些特性不僅可滿(mǎn)足二次離子質(zhì)譜儀的要求,也適用于具有高分辨、超高真空環(huán)境、無(wú)污染要求的其他分析測(cè)試儀器。
【作者單位】： 中國(guó)地質(zhì)科學(xué)院地質(zhì)研究所北京離子探針中心;
【關(guān)鍵詞】： 二次離子探針質(zhì)譜 三維樣品臺(tái) 超高真空 真空電機(jī) 固體潤(rùn)滑
【基金】：國(guó)家重大科學(xué)儀器設(shè)備開(kāi)發(fā)專(zhuān)項(xiàng)《同位素地質(zhì)學(xué)專(zhuān)用TOF-SIMS科學(xué)儀器》(2011YQ050069)資助
【分類(lèi)號(hào)】：O657.63
【正文快照】： 隨著地球科學(xué)、宇宙科學(xué)、材料科學(xué)、生命科學(xué)及半導(dǎo)體微電子行業(yè)的發(fā)展和儀器制造水平的提高,微束類(lèi)分析儀器的一次離子束斑直徑越來(lái)越小,樣品臺(tái)移動(dòng)的步距也越來(lái)越小,即分辨力越來(lái)越高,對(duì)樣品的分析越來(lái)越精細(xì)。所有微區(qū)原位分析的微束類(lèi)儀器在使用時(shí)都要涉及一個(gè)重要的部件，

本文編號(hào)：1052218