本文關(guān)鍵詞：六方小面相螺旋在各向異性、表面吸附、界面動力學(xué)作用下生長的相場

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【摘要】：利用定量相場模型研究了強各向異性、表面吸附率以及界面動力學(xué)作用條件下六方Ga N螺旋結(jié)構(gòu)的表面形貌與生長機理.通過引入小面相各向異性的相場修正方程,研究了不同各向異性的穩(wěn)態(tài)螺旋形貌,發(fā)現(xiàn)各向異性通過改變臺階尖端的曲率作用影響螺旋生長.弱各向異性下穩(wěn)態(tài)螺距及界面動力學(xué)特征相對穩(wěn)定,各向異性較強時尖端的過飽和度隨著各向異性的增強而增大,并使得界面平衡態(tài)向著有利于螺旋臺階推進的方向移動.研究了表面吸附率對小面相螺旋生長的作用機理,發(fā)現(xiàn)吸附率的增加導(dǎo)致了穩(wěn)態(tài)螺旋間距的降低,通過分析螺旋間距隨臺階寬度的變化趨勢,發(fā)現(xiàn)增強的表面吸附和各向異性強度降低了螺旋間距的收斂性,并且具體分析了收斂性誤差;通過探討界面動力學(xué)作用條件下螺旋形貌特征以及螺旋間距變化趨勢,發(fā)現(xiàn)界面動力學(xué)系數(shù)通過改變穩(wěn)態(tài)螺旋間距與特征指數(shù)因子調(diào)控螺旋生長的動力學(xué)機理,與各向同性相比小面相螺旋生長表現(xiàn)出較低的界面動力學(xué)系數(shù)依賴性.
【作者單位】： 西北工業(yè)大學(xué)理學(xué)院陜西省凝聚態(tài)結(jié)構(gòu)與性質(zhì)重點實驗室;
【關(guān)鍵詞】： 數(shù)值模型與模擬 表面形貌 薄膜生長與沉積 動力學(xué)作用
【基金】：國家自然科學(xué)基金(批準號:61471301,51172183,51402240,51471134) 陜西省自然科學(xué)基金(批準號:2015JQ5125) 西北工業(yè)大學(xué)博士論文創(chuàng)新基金(批準號:CX201325) 中央高校基本科研業(yè)務(wù)費(批準號:3102015ZY078) 高等學(xué)校博士學(xué)科點專項科研基金(批準號:20126102110045)資助的課題~~
【分類號】：O78
【正文快照】： 1引言螺旋結(jié)構(gòu)是一種普遍存在于晶體表面的生長形貌[1].螺旋生長模式理論認為,晶體結(jié)構(gòu)可以由其表面缺陷導(dǎo)致的螺位錯產(chǎn)生并控制,尤其是針對外延薄膜生長的表面,螺位錯產(chǎn)生的局域臺階將沿著位錯核纏繞生長直至鋪滿一層.通過對螺旋生長過程的定量研究,不僅能夠直接調(diào)控薄膜形貌

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本文編號：1040245