本文關(guān)鍵詞：半導(dǎo)體生產(chǎn)含砷廢水處理回用工程

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【摘要】：采用沉淀法—電絮凝法—氣浮法—膜分離法四段組合工藝對含砷廢水進行處理,原水含砷180~230mg/L,經(jīng)該工藝處理后出水含砷0.03 mg/L,去除率99.9%。工程運行實踐證明:該系統(tǒng)運行穩(wěn)定、處理效果高,產(chǎn)出的清水用作生產(chǎn)用循環(huán)冷卻水,大大降低了生產(chǎn)成本。
【作者單位】： 云南中科鑫圓晶體材料有限公司;
【關(guān)鍵詞】： 含砷廢水 回用 半導(dǎo)體材料
【分類號】：X76
【正文快照】： 砷化鎵(Ga As)是目前最成熟的化合物半導(dǎo)體材料之一,廣泛運用于高頻及無線通訊領(lǐng)域。從高純砷、高純鎵到砷化鎵單晶片的生產(chǎn)工藝相當復(fù)雜,使得排放的含砷廢水組分復(fù)雜[1]。由此,尋找一種合理、有效且成本低的含砷廢水處理方法顯得尤為重要。筆者針對云南省某半導(dǎo)體材料公司排

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本文編號：1089787