【摘要】：SiF_4多被應用于電子行業(yè)和半導體行業(yè),氟硅酸鹽制備SiF_4是制備方法中的一種。本文介紹了氟硅酸鹽的性質,制備方法,以及氟硅酸鹽制備SiF_4的方法,并對部分氟硅酸鹽制備SiF_4的條件及產物進行了對比。
[Abstract]:SiF_4 is widely used in electronics and semiconductor industries. Fluorosilicate preparation of SiF_4 is one of the preparation methods. In this paper, the properties and preparation methods of fluorosilicate and the method of preparing SiF_4 by fluorosilicate are introduced, and the conditions and products of some fluorosilicate to prepare SiF_4 are compared.
【作者單位】： 貴州大學化學與化工學院;貴州理工學院化學工程學院;
【分類號】：TQ127.2

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本文編號：2277830