【摘要】：對碲化鎘晶體進(jìn)行了光學(xué)加工,利用兩臺測量精度為1″的光學(xué)比較測角儀和一塊平行度優(yōu)于1″的平行平晶測量了其平行度,并且和光學(xué)加工過程中采用激光平面干涉儀測得的氟化鈣陪片的平行度進(jìn)行了比較,分析了這種測量方法的誤差來源及大小。結(jié)果表明:采用此方法測得的碲化鎘晶體的平行度和采用激光平面干涉儀測得的陪片的平行度相差不超過3″;此方法的誤差主要來自于光學(xué)比較測角儀的測量誤差和平行平晶的平行度誤差,總誤差最大不超過5″,能夠滿足碲化鎘晶體平行度測試的精度要求。
[Abstract]:The optical processing of cadmium telluride crystal was carried out. The parallelism was measured by two optical comparator angulometers with a measuring accuracy of 1 "and a parallel crystal with a parallelism of less than 1". Compared with the parallelism measured by laser plane interferometer during optical processing, the error source and size of the measurement method are analyzed. The results show that the parallelism of cadmium telluride crystals measured by this method is no more than 3 ". The error of this method mainly comes from the measurement error of the optical comparator and the parallelism error of the parallel flat crystal. The total error is not more than 5 ", which can meet the precision requirement of the parallelism measurement of cadmium telluride crystal.
【作者單位】： 北京聯(lián)合大學(xué)基礎(chǔ)部;南開大學(xué)物理科學(xué)學(xué)院;
【分類號】：O78;TQ132.44

【參考文獻(xiàn)】

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本文編號：2241773