【摘要】：根據(jù)硼硅酸鹽玻璃的內(nèi)部結(jié)構(gòu)特殊性和熱學(xué)性質(zhì),設(shè)計并制備出兩種3D微玻璃空腔,主要講述了3D微玻璃空腔的設(shè)計過程和吹塑成型的制備方法。CORNING Pyrex 7740玻璃是硼硅酸鹽玻璃的代表。將硅片進行深硅刻蝕形成深槽,并與7740玻璃進行常壓下的陽極鍵合,形成微空腔;將得到的微空腔放入真空退火爐中進行退火,使玻璃空腔內(nèi)部空氣膨脹,最終形成3D微玻璃空腔。經(jīng)過實驗得到的兩種3D微玻璃空腔表明其制備工藝的可行性,將制備出的3D微玻璃空腔運用到導(dǎo)航器件的設(shè)計和微結(jié)構(gòu)的封裝等方面,具有比較好的發(fā)展前景。
[Abstract]:According to the internal structure and thermal properties of borosilicate glass, two kinds of 3D microglass cavities were designed and fabricated. The design process of 3D microglass cavity and the preparation method of blow molding. Corning Pyrex 7740 glass is the representative of borosilicate glass. The silicon wafer is etched with deep silicon to form deep grooves, and the 7740 glass is bonded under normal pressure to form a micro-cavity, and the resulting micro-cavity is placed in a vacuum annealing furnace for annealing, so that the air inside the glass cavity expands. Finally, the 3D microglass cavity is formed. Two kinds of 3D microglass cavities obtained by experiments show the feasibility of the fabrication process. The 3D microglass cavity can be used in the design of navigation devices and the encapsulation of microstructures, which has a good prospect of development.
【作者單位】： 中北大學(xué)電子測試技術(shù)重點實驗室;
【基金】：國家自然基金項目(NSFC 61604134) 山西省自然基金項目(SXNSF 2015021114)
【分類號】：TQ171.6

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本文編號：2152208