冶金法制備太陽能級多晶硅的耦合除雜研究
本文選題:工業(yè)硅 + 介質熔煉; 參考:《無機材料學報》2017年03期
【摘要】:以工業(yè)硅為原料,利用介質熔煉、定向凝固和電子束熔煉三種熔體處理技術對工業(yè)硅中的B、P和金屬雜質進行了去除,制備出了99.9999%級多晶硅材料,其中,雜質B和P的含量分別低于0.20 ppmw(parts per million(weight),百萬分之一質量),金屬雜質總含量(TM)低于0.23 ppmw。研究發(fā)現(xiàn),介質熔煉去除雜質B的過程中,熔體中發(fā)生氧化還原反應可以有效去除大部分的雜質Al和Ca;電子束熔煉過程中,利用飽和蒸氣壓原理可以有效去除揮發(fā)性雜質P、Al、Ca,同時降束誘導多晶硅定向凝固,可將其他金屬雜質進一步去除。本研究通過各技術間的耦合除雜,減少了冶金法提純多晶硅的工序,為連續(xù)化、規(guī);a提供了技術支撐。
[Abstract]:The removal of B , P and metal impurities in industrial silicon is carried out by means of three kinds of melt processing techniques such as medium smelting , directional solidification and electron beam melting .
【作者單位】: 大連理工大學材料科學與工程學院;大連理工大學遼寧省太陽能光伏系統(tǒng)重點實驗室;大工(青島)新能源材料技術研究院有限公司;
【基金】:國家自然科學基金(51404053) 中國博士后科學基金(2014M551076)~~
【分類號】:TQ127.2
【參考文獻】
相關期刊論文 前1條
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【二級參考文獻】
相關期刊論文 前1條
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【相似文獻】
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,本文編號:1783099
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