本文選題：微米金剛石　切入點(diǎn)：薄膜制備　出處：《電子器件》2017年01期

【摘要】：通過(guò)改變處理襯底表面的方法,制備出不同的微米金剛石薄膜。具體的方法是利用磁控濺射在陶瓷襯底上面鍍上一層厚金屬鈦,對(duì)金屬鈦層進(jìn)行不同的表面處理后,放在微波等離子體化學(xué)氣相沉積腔中制備微米金剛石薄膜。對(duì)不同的薄膜用二極管型結(jié)構(gòu)測(cè)試了它們的場(chǎng)致發(fā)射電子的性能,良好的表面處理能達(dá)到在電場(chǎng)2.1 V/μm下,9.2 m A/cm~2優(yōu)秀的發(fā)射效果。并對(duì)發(fā)射機(jī)理和場(chǎng)發(fā)射特性進(jìn)行了深入的研究。
[Abstract]:Different micron diamond films were prepared by changing the substrate surface treatment.The specific method is to prepare micron diamond films on ceramic substrates by magnetron sputtering, after different surface treatments are carried out, and then deposited in microwave plasma chemical vapor deposition cavities.The properties of the field emission electrons of different thin films were tested with diode structure. The excellent surface treatment can reach the excellent emission effect of 9.2m A/cm~2 at the electric field of 2.1V / 渭 m.The emission mechanism and field emission characteristics are also studied.
【作者單位】： 鄭州師范學(xué)院物理系;鄭州大學(xué)物理工程學(xué)院材料物理教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【基金】：教育部科學(xué)技術(shù)重點(diǎn)項(xiàng)目(205091) 河南省科學(xué)技術(shù)成果項(xiàng)目(教高豫科鑒委字[2015]第569號(hào)) 河南省高等學(xué)校重點(diǎn)科研項(xiàng)目(16A140039)
【分類(lèi)號(hào)】：TQ163;TN873

【相似文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前10條

1 梁中翥;梁靜秋;鄭娜;賈曉鵬;李桂菊;;摻氮金剛石的光學(xué)吸收與氮雜質(zhì)含量的分析研究[J];物理學(xué)報(bào);2009年11期

2 宋月清;夏揚(yáng);謝元鋒;林晨光;郭志猛;曲選輝;;金剛石熱管理材料的研究進(jìn)展[J];超硬材料工程;2010年01期

3 李蒙順;;金剛石的光學(xué)分恱[J];重型機(jī)械;1963年04期

4 王至炎;金剛石的光學(xué)選礦[J];建筑材料工業(yè);1963年05期

5 李繼業(yè);;金剛石浮選的理論分析[J];非金屬礦;1980年01期

6 陳昭威;提高燒結(jié)多晶金剛石質(zhì)量的途徑[J];人工晶體;1982年01期

7 ;電解回收金剛石的小結(jié)[J];青海地質(zhì);1978年02期

8 陳小安,王序進(jìn);淺談金剛石修整工具及其制造方法[J];磨料磨具與磨削;1986年06期

9 林增棟;金剛石表面的金屬化[J];磨料磨具與磨削;1987年02期

10 焦魁一;國(guó)外金剛石聚結(jié)體的研制技術(shù)[J];磨料磨具與磨削;1987年05期

相關(guān)會(huì)議論文 前10條

1 劉志杰;張衛(wèi);萬(wàn)永中;王季陶;;氧原子在化學(xué)氣相淀積金剛石過(guò)程中的作用[A];第三屆中國(guó)功能材料及其應(yīng)用學(xué)術(shù)會(huì)議論文集[C];1998年

2 廖道達(dá);陸德強(qiáng);劉文燕;邱君苑;;金剛石錦上添花[A];2005年中國(guó)機(jī)械工程學(xué)會(huì)年會(huì)第11屆全國(guó)特種加工學(xué)術(shù)會(huì)議專(zhuān)輯[C];2005年

3 鄭云龍;楊志軍;曾祥清;艾群;彭明生;;金剛石典型表面形貌的形成與環(huán)境意義[A];2012年全國(guó)礦物科學(xué)與工程學(xué)術(shù)研討會(huì)論文集[C];2012年

4 王超;揭曉華;徐江;陶洪亮;魏菊;;雙陰極等離子濺射金剛石顯微結(jié)構(gòu)研究[A];2013廣東材料發(fā)展論壇——戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展與新材料科技創(chuàng)新研討會(huì)論文摘要集[C];2013年

5 郭宗山;;金剛石的成因與找礦[A];中國(guó)地質(zhì)科學(xué)院礦床地質(zhì)研究所文集（19）[C];1987年

6 喬培新;龍偉民;鐘素娟;李勝利;;預(yù)合金粉末與金剛石的擴(kuò)散連接[A];第十一次全國(guó)焊接會(huì)議論文集（第1冊(cè)）[C];2005年

7 廖道達(dá);陸德強(qiáng);劉文燕;邱君苑;;金剛石錦上添花[A];2005年中國(guó)機(jī)械工程學(xué)會(huì)年會(huì)論文集第11屆全國(guó)特種加工學(xué)術(shù)會(huì)議專(zhuān)輯[C];2005年

8 劉鵬;謝水生;李木森;郝兆印;程開(kāi)甲;;新型碳源高溫高壓合成及外延金剛石[A];中國(guó)有色金屬學(xué)會(huì)合金加工學(xué)術(shù)委員會(huì)2008學(xué)術(shù)年會(huì)論文集[C];2008年

9 楊志軍;彭明生;蒙宇飛;苑執(zhí)中;張恩;;鐵基合金-氫預(yù)處理石墨系高溫高壓合成金剛石的研究及其意義[A];中國(guó)礦物巖石地球化學(xué)學(xué)會(huì)第十屆學(xué)術(shù)年會(huì)論文集[C];2005年

10 廖源;沈維康;王冠中;余慶選;馬玉蓉;方容川;;摻氮?dú)夥障翪VD金剛石的場(chǎng)致發(fā)射特性研究[A];第九屆全國(guó)發(fā)光學(xué)術(shù)會(huì)議摘要集[C];2001年

相關(guān)博士學(xué)位論文 前10條

1 王珊珊;金剛石薄膜電極的制備及其在鋁電解中的應(yīng)用研究[D];大連理工大學(xué);2014年

2 趙陽(yáng);摻硼金剛石電極對(duì)廢水毒性控制和污染物檢測(cè)性能評(píng)價(jià)[D];大連理工大學(xué);2015年

3 鄒萊;黑色金屬金剛石切削刀具磨損及其抑制的研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2015年

4 許蓬子;金剛石材料逆向磨損去除加工的研究[D];吉林大學(xué);2016年

5 劉巖;基干金剛石色心的單光子產(chǎn)生及其熒光動(dòng)力學(xué)研究[D];華東師范大學(xué);2016年

6 崔巍;熔滲法制備金剛石/銅復(fù)合材料及其性能[D];北京科技大學(xué);2016年

7 王俊峰;金剛石NV色心的制備、相干性與溫度探測(cè)研究[D];中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué);2016年

8 胡強(qiáng);生長(zhǎng)型金剛石聚晶的高溫高壓合成及其機(jī)理研究[D];吉林大學(xué);2016年

9 李浩;硼摻雜金剛石薄膜電極的制備及其在密閉空間廢水處理回用中的應(yīng)用[D];浙江大學(xué);2016年

10 王艷輝;金剛石磨料表面鍍鈦層的制備、結(jié)構(gòu)、性能及應(yīng)用[D];燕山大學(xué);2003年

相關(guān)碩士學(xué)位論文 前10條

1 袁婷;華北地臺(tái)和揚(yáng)子地臺(tái)金剛石生長(zhǎng)過(guò)程的差異性及意義[D];中國(guó)地質(zhì)大學(xué);2009年

2 劉向紅;n型摻雜金剛石的第一性原理研究[D];山東大學(xué);2011年

3 衛(wèi)陳龍;金剛石表面金屬化及金剛石/銅復(fù)合材料微波燒結(jié)工藝研究[D];昆明理工大學(xué);2015年

4 吳東;高精度金剛石玻氏壓頭的設(shè)計(jì)方法及其機(jī)械研磨技術(shù)研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2015年

5 李姝賢;金剛石表面處理對(duì)金剛石/鋁復(fù)合材料組織性能的影響[D];北京有色金屬研究總院;2015年

6 林佳志;摩擦化學(xué)拋光單晶金剛石的工藝研究[D];大連理工大學(xué);2015年

7 龍濤;熱管理用金剛石/銅復(fù)合材料的界面構(gòu)建及其組織與熱導(dǎo)率研究[D];南昌航空大學(xué);2014年

8 王松瑞;磁場(chǎng)作用對(duì)化學(xué)復(fù)合鍍Ni-P-金剛石影響機(jī)理研究[D];青島科技大學(xué);2015年

9 漆書(shū)桂;多層釬焊金剛石鉆頭的實(shí)驗(yàn)研究[D];中國(guó)地質(zhì)大學(xué)(北京);2012年

10 周爽;釬焊金剛石鉆頭微觀組織分析與鉆進(jìn)溫度場(chǎng)仿真[D];中國(guó)地質(zhì)大學(xué)(北京);2013年

，

本文編號(hào)：1713923