本文關(guān)鍵詞：鋁納米線陣列的制備及生長機理

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【摘要】：分別利用高密度電流和高溫加熱作為驅(qū)動力,在不同試樣中產(chǎn)生原子遷移現(xiàn)象,并進行對比試驗研究制備鋁納米線陣列的可行性。試驗結(jié)果表明,在局部區(qū)域利用高密度電流成功制備了鋁納米線陣列。由于試樣制備過程中蝕刻工藝帶來的誤差,導(dǎo)致電流密度相應(yīng)變化,使試樣在部分區(qū)域出現(xiàn)了爆破現(xiàn)象。高溫加熱的試樣表面產(chǎn)生了大量鋁納米顆粒,但是由于原子遷移強度過低,未能在對應(yīng)試樣中制備出鋁納米線陣列。
【作者單位】： 嘉興學(xué)院機電工程學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 原子遷移 鋁納米線 陣列 原子積聚
【基金】：國家自然科學(xué)基金項目(51305165) 浙江省錢江人才項目(QJD1302007)
【分類號】：TB383.1;TQ133.1
【正文快照】： 0引言金屬納米材料是目前的熱門研究之一[1-3],例如銅納米線、銀納米線和鋁納米線已經(jīng)成為了微機電系統(tǒng)(MEMS)和小型機械系統(tǒng)的必要組成材料。鋁具有工藝性好和制備成本低的優(yōu)勢,因此近年來出現(xiàn)了眾多制備鋁納米線的報道。由于鋁獨特的物理化學(xué)性質(zhì),因此常用的化學(xué)氣相沉積法

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本文編號：1102274