本文關(guān)鍵詞：等離子體氣相凝聚技術(shù)制備銅納米團(tuán)簇薄膜的沉積速率研究

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【摘要】：采用等離子體氣相凝聚技術(shù)并結(jié)合差分抽氣技術(shù)產(chǎn)生銅納米團(tuán)簇束流,然后在襯底上沉積銅納米團(tuán)簇薄膜,研究了濺射電流、氬氣流量和結(jié)露區(qū)長(zhǎng)度對(duì)其沉積速率的影響。利用X射線衍射儀和透射電子顯微鏡對(duì)薄膜微結(jié)構(gòu)進(jìn)行了表征。結(jié)果表明:保持其他參數(shù)不變的情況下,增加濺射電流和氬氣流量,銅納米團(tuán)簇薄膜的沉積速率均呈現(xiàn)先增大后減小的趨勢(shì),而結(jié)露區(qū)長(zhǎng)度對(duì)沉積速率的影響無(wú)明顯規(guī)律,這主要?dú)w因于銅納米團(tuán)簇粒子的平均自由程變化。銅納米團(tuán)簇薄膜主要由粒徑約為幾納米的團(tuán)簇顆粒組成,其結(jié)晶程度較低。
【作者單位】： 西南科技大學(xué)極端條件物質(zhì)特性實(shí)驗(yàn)室;中國(guó)工程物理研究院激光聚變研究中心等離子體物理重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： 等離子體氣相凝聚技術(shù) 差分抽氣技術(shù) 銅納米團(tuán)簇薄膜 沉積速率
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(11375159) 中國(guó)工程物理研究院科學(xué)技術(shù)發(fā)展基金資助項(xiàng)目(2012B0302051)
【分類號(hào)】：TB383.2;TQ131.21
【正文快照】： 隨著啁啾脈沖放大技術(shù)(CPA)[1]的應(yīng)用,超短超強(qiáng)脈沖激光強(qiáng)度已超過(guò)百TW達(dá)到PW量級(jí),可獲得脈沖寬度為數(shù)十fs到數(shù)ps的超短超強(qiáng)脈沖激光。利用強(qiáng)激光與物質(zhì)相互作用,開(kāi)辟了新的強(qiáng)場(chǎng)物理研究領(lǐng)域。fs激光脈沖與物質(zhì)相互作用會(huì)產(chǎn)生能量高達(dá)幾百M(fèi)eV的質(zhì)子束、超熱電子等粒子、高能X

【參考文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前6條

1 王雅麗;李喜波;羅江山;張建波;韋建軍;唐永建;;等離子體氣相凝聚技術(shù)制備銀納米團(tuán)簇及粒徑尺寸控制[J];強(qiáng)激光與粒子束;2014年08期

2 劉艷松;何智兵;李俊;許華;;磁控濺射制備成分漸變Au/Cu復(fù)合涂層的研究[J];原子能科學(xué)技術(shù);2014年05期

3 路建新;蘭小飛;戴輝;黃永盛;席曉峰;王雷劍;楊大為;湯秀章;;紫外超短激光驅(qū)動(dòng)銅薄膜靶產(chǎn)生質(zhì)子的實(shí)驗(yàn)研究[J];原子能科學(xué)技術(shù);2013年02期

4 SU LuNing;LIU BiCheng;LIN XiaoXuan;LIU Feng;DU Fei;LIU XiaoLong;ZHENG Yi;GE XuLei;LI YuTong;SHENG ZhengMing;CHEN LiMing;WANG WeiMin;MA JingLong;LU Xin;WEI ZhiYi;CHEN JiaEr;ZHANG Jie;;The influence of target material and thickness on proton energy and angular distribution[J];Science China(Physics,Mechanics & Astronomy);2013年02期

5 孫彥乾;陳黎明;張璐;毛婧一;劉峰;李大章;劉成;李偉昌;王兆華;李英駿;魏志義;張杰;;超強(qiáng)激光與Ar團(tuán)簇相互作用中X射線的研究[J];物理學(xué)報(bào);2012年07期

6 易泰民;邢丕峰;唐永建;張林;鄭鳳成;謝軍;李朝陽(yáng);楊蒙生;;磁控濺射制備金屬鈾膜[J];原子能科學(xué)技術(shù);2010年07期

中國(guó)碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前1條

1 程丙勛;磁控濺射制備Al膜和Cu膜的結(jié)構(gòu)與性能研究[D];四川大學(xué);2007年

【共引文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 黃江磊;羅江山;李喜波;王雅麗;張建波;易勇;唐永建;;等離子體氣相凝聚技術(shù)制備銅納米團(tuán)簇薄膜的沉積速率研究[J];原子能科學(xué)技術(shù);2016年05期

2 吳博琦;董連和;孫艷軍;冷雁冰;王麗;;紅外遙感器網(wǎng)狀微結(jié)構(gòu)制作工藝[J];強(qiáng)激光與粒子束;2015年12期

3 張春艷;劉顯明;;氫團(tuán)簇在飛秒強(qiáng)激光場(chǎng)中的動(dòng)力學(xué)行為[J];物理學(xué)報(bào);2015年16期

4 王超;李曉媛;羅清;吉方;胡素榮;魏齊龍;張?jiān)骑w;黃文;湯光平;何建國(guó);;表面活性劑輔助二氧化硅納米顆粒在非水基液中的分散研究（英文）[J];強(qiáng)激光與粒子束;2015年02期

5 李春芝;菅陽(yáng)陽(yáng);何穎卓;楊國(guó)光;;載能粒子與基底上方二維電子氣間的相互作用[J];內(nèi)蒙古民族大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);2015年01期

6 盛政明;翁蘇明;於陸勒;王偉民;崔云千;陳民;張杰;;Absorption of ultrashort intense lasers in laser solid interactions[J];Chinese Physics B;2015年01期

7 李春芝;菅陽(yáng)陽(yáng);何穎卓;;基底性質(zhì)對(duì)二維層狀電子氣感應(yīng)電場(chǎng)的影響[J];強(qiáng)激光與粒子束;2014年12期

8 閆文超;蘇魯寧;林曉宣;杜飛;袁大偉;廖國(guó)前;劉成;沈忠偉;陳黎明;李玉同;馬景龍;魯欣;王tD;王兆華;魏志義;盛政明;張杰;;高反射效率高定向性的熱解石墨晶體X射線譜儀[J];物理學(xué)報(bào);2014年17期

9 齊永良;鄒本慧;郭洪;趙云峰;;熔鑄法制備貧鈾濺射靶片[J];產(chǎn)業(yè)與科技論壇;2014年13期

10 趙無(wú)垛;王衛(wèi)國(guó);李海洋;;中等光強(qiáng)納秒激光電離苯團(tuán)簇產(chǎn)生多價(jià)碳離子的數(shù)值模擬和實(shí)驗(yàn)研究[J];物理學(xué)報(bào);2014年10期

中國(guó)碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前9條

1 邱繼芳;薄膜太陽(yáng)電池吸收層材料Cu（In，Al）（S，，Se）_2的制備及性能研究[D];內(nèi)蒙古大學(xué);2014年

2 陳麗;擴(kuò)散焊接過(guò)程中銅、鋁表面質(zhì)量的研究[D];西華大學(xué);2014年

3 王粵;磁控濺射Co和CoTaZr薄膜的組織結(jié)構(gòu)與性能研究[D];廣東工業(yè)大學(xué);2012年

4 張歡;平面固態(tài)高壓?jiǎn)斡|發(fā)開(kāi)關(guān)的設(shè)計(jì)、制作與性能研究[D];南京理工大學(xué);2012年

5 冉杰;離子束技術(shù)制備聚酰亞胺基體銅膜與鈦/銅膜的性能研究[D];清華大學(xué);2010年

6 陳默;基于MEMS的4×4微推進(jìn)陣列制備及性能研究[D];南京理工大學(xué);2010年

7 丁小柯;磁場(chǎng)閉合狀態(tài)對(duì)磁控濺射沉積純Cr鍍層生長(zhǎng)過(guò)程的影響研究[D];西安理工大學(xué);2009年

8 馬續(xù)航;基片運(yùn)動(dòng)對(duì)多靶磁控濺射鍍層納米多層結(jié)構(gòu)形成的影響[D];西安理工大學(xué);2009年

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本文編號(hào)：1097416