微機(jī)電陀螺耦合剛度的辨識(shí)
發(fā)布時(shí)間:2017-09-08 06:22
本文關(guān)鍵詞:微機(jī)電陀螺耦合剛度的辨識(shí)
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【摘要】:針對(duì)微機(jī)電陀螺耦合剛度的辨識(shí),提出了以驅(qū)動(dòng)軸、檢測(cè)軸、驅(qū)動(dòng)-轉(zhuǎn)動(dòng)耦合和驅(qū)動(dòng)-檢測(cè)耦合頻率響應(yīng)特性為基礎(chǔ)的耦合剛度辨識(shí)方法。設(shè)計(jì)了一種驅(qū)動(dòng)軸和檢測(cè)軸雙向位移解耦的雙質(zhì)量線(xiàn)振動(dòng)微機(jī)電陀螺,基于經(jīng)過(guò)簡(jiǎn)化的梁的剛度特性建立了微陀螺平面運(yùn)動(dòng)動(dòng)力學(xué)方程,導(dǎo)出了結(jié)構(gòu)在存在耦合剛度情況下驅(qū)動(dòng)軸、檢測(cè)軸、驅(qū)動(dòng)-轉(zhuǎn)動(dòng)耦合和驅(qū)動(dòng)-檢測(cè)耦合的傳遞函數(shù)。根據(jù)耦合傳遞函數(shù)把剛度耦合產(chǎn)生的根源定位到特定的幾組梁之間的剛度誤差。通過(guò)驅(qū)動(dòng)-轉(zhuǎn)動(dòng)耦合與驅(qū)動(dòng)軸幅頻特性之比辨識(shí)出驅(qū)動(dòng)-轉(zhuǎn)動(dòng)耦合剛度系數(shù),通過(guò)驅(qū)動(dòng)-檢測(cè)耦合與檢測(cè)軸幅頻特性之比辨識(shí)出轉(zhuǎn)動(dòng)-檢測(cè)耦合剛度系數(shù)。實(shí)驗(yàn)測(cè)試了設(shè)計(jì)加工的微陀螺的頻率響應(yīng)特性,利用提出的耦合剛度辨識(shí)方法得到陀螺的驅(qū)動(dòng)-轉(zhuǎn)動(dòng)和轉(zhuǎn)動(dòng)-檢測(cè)耦合剛度系數(shù)分別為0.14N和0.054 33N。得到的耦合剛度的辨識(shí)結(jié)果可為微陀螺梁剛度的激光修調(diào)提供參數(shù)依據(jù)。
【作者單位】: 清華大學(xué)精密儀器系;
【關(guān)鍵詞】: 微機(jī)電陀螺 耦合剛度 辨識(shí)方法 模型 頻率響應(yīng)
【基金】:武器裝備預(yù)先研究資金資助項(xiàng)目(No.51309010303)
【分類(lèi)號(hào)】:V241.5
【正文快照】: 1引言微機(jī)電振動(dòng)陀螺敏感結(jié)構(gòu)的力學(xué)原理、靜電場(chǎng)作用和加工誤差等因素,會(huì)導(dǎo)致驅(qū)動(dòng)軸的驅(qū)動(dòng)力或運(yùn)動(dòng)傳遞到檢測(cè)軸,使檢測(cè)軸發(fā)生振動(dòng),從而在敏感軸無(wú)角速度的情況下輸出信號(hào)。一般稱(chēng)這種現(xiàn)象為“耦合”,并用“耦合誤差”來(lái)定量描述耦合的大小。耦合誤差會(huì)隨溫度、氣壓等發(fā)生變
【相似文獻(xiàn)】
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1 屈波;;快捷準(zhǔn)確檢測(cè)軸用鍵槽對(duì)稱(chēng)度[J];工具技術(shù);2010年05期
2 趙德林;一種檢測(cè)軸、套外徑尺寸的簡(jiǎn)易量具[J];粉末冶金技術(shù);1990年02期
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,本文編號(hào):812396
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