本文以國產(chǎn)宇航用集成電路為研究目標(biāo),詳細(xì)分析了集成電路參數(shù)一致性控制過程中的關(guān)鍵技術(shù),對(duì)測試儀器準(zhǔn)確性分析進(jìn)行了研究,將一致性分析分為批次內(nèi)與批次間兩種分析方法。以工程實(shí)踐為目標(biāo),說明了集成電路在生產(chǎn)過程中進(jìn)行參數(shù)一致性分析的方法與步驟,對(duì)國內(nèi)集成電路生產(chǎn)廠的參數(shù)一致性分析具有一定指導(dǎo)意義。 

【文章來源】：中國航天. 2020,(S1)

【文章頁數(shù)】：4 頁

【部分圖文】：

測量儀器評(píng)價(jià)流程圖


本文編號(hào)：3630656