功率器件的納米銀燒結(jié)工藝技術(shù)研究
【學(xué)位授予單位】:北華航天工業(yè)學(xué)院
【學(xué)位級別】:碩士
【學(xué)位授予年份】:2019
【分類號】:V46
【圖文】:
原材料方面價格低是有機印刷電路板的主要特點,圍廣。刷電路板相比較,陶瓷基板有著更加優(yōu)異的性能,如更低的熱膨脹、耐熱性能更加優(yōu)良、更高的尺寸穩(wěn)定性、布線更加容易的精細于混合集成電路和大規(guī)模集成電路的封裝。到目前為止,Al2O3產(chǎn)中使用最多的。Sun 和 Burgess 首次提出了 DBC 技術(shù)[16-17]。其生產(chǎn)工藝是將氧化氣的氮氣氛圍中進行加熱直至溫度達到 1066℃,隨后將銅箔貼于箔的厚度為 0.15~0.65μm 之間,通過氧—銅二元和金相圖可以知數(shù)量的含氧和銅的共晶液相[18-19],進一步與氧化鋁陶瓷發(fā)生化學(xué))和 Cu(AlO2)2等氧化物,從而將銅箔和氧化鋁陶瓷板牢牢的工程實際,本課題使用的基板為 DBC 基板,為了實現(xiàn)對基板的的陶瓷基板兩側(cè)都有焊盤。其基板的基本結(jié)構(gòu)如下圖 2.1 所示()。厚度 Al2O3層為 1mm,Cu 層為 300μm,鍍鎳層為 2~7μm,μm。
a)正面 b)反面圖 2.2 DBC 基板率芯片的選擇率芯片工作在惡劣的環(huán)境下會縮短使用時間,當(dāng)環(huán)境溫度超過 150℃時到很低[20-22]。但有時大功率芯片需要工作在很高的溫度下,這就對其可的要求。為此,不斷涌現(xiàn)出大功率、耐高溫、耐高壓的電子半導(dǎo)體器件鎵、碳化硅等寬禁帶半導(dǎo)體器件。經(jīng)研究表明,這種大功率半導(dǎo)體器熱阻和通態(tài)比熱阻、耐高溫且抗輻照、低的開關(guān)損耗以及高阻斷電壓等在 250℃的工作環(huán)境仍然有著優(yōu)良的工作能力和轉(zhuǎn)換性能。本文主要的對燒結(jié)后空洞率、剪切強度以及其可靠性來研究功率器件的納米銀焊膏提到的功率器件主要指大功率寬禁帶半導(dǎo)體器件,為了降低試驗成本選取了最常用的鍍銀裸芯片來代替。所選取的芯片尺寸分別為 9.4×7.7m2、4.5×2.8mm2等。具體實物如下圖 2.3 所示。
【參考文獻】
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本文編號:2719197
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