本文關(guān)鍵詞：從共振衰減響應(yīng)中提取微機械陀螺的骨架曲線

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【摘要】：為測量微機械陀螺的非線性特性,研究了一種從共振衰減響應(yīng)信號中提取骨架曲線的方法。采用Hilbert變換處理共振衰減信號,對所得到的瞬時幅值及瞬時頻率曲線進行奇異譜分析,濾除信號中噪聲引起的非理想波動,從而得到清晰易辨的骨架曲線,解決了基于Hilbert變換的非線性辨識方法對噪聲敏感的問題。針對Duffing系統(tǒng)的數(shù)值仿真結(jié)果表明,這種方法比FREEVIB方法具有更好的抗噪聲性能。對一種環(huán)型振動微陀螺進行了實驗測試,所得到的骨架曲線、阻尼曲線以及頻率響應(yīng)曲線與傳統(tǒng)掃頻方式的測量結(jié)果有良好的一致性。作為一種通用測試手段,這種方法同樣適用于其他微機械諧振元件動力學(xué)特性的實驗測試。
【作者單位】： 清華大學(xué)精密儀器系精密測試技術(shù)及儀器國家重點實驗室;火箭軍工程大學(xué)202教研室;
【關(guān)鍵詞】： 微機械陀螺 非線性特性 Hilbert變換 骨架曲線 奇異譜分析
【基金】：國家自然科學(xué)基金資助項目(61271129)
【分類號】：V241.5
【正文快照】： 微機械諧振器是基于諧振原理的MEMS測量系統(tǒng)的重要組成部分,作為一類典型敏感元件,已廣泛應(yīng)用于微機械慣性傳感器、諧振式壓力傳感器等領(lǐng)域。采用微電子技術(shù)和硅微加工工藝制作的微陀螺具有尺寸小、重量輕、成本低廉等優(yōu)點,但其諧振器相對于宏觀尺寸的機械振動系統(tǒng)更容易呈現(xiàn)，

本文編號：1033906