本文關(guān)鍵詞：機(jī)械手在硅片清洗機(jī)中的應(yīng)用

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【摘要】：硅片清洗機(jī)是太陽能行業(yè)中硅片制造環(huán)節(jié)的一種重要的自動(dòng)化設(shè)備,它的主要作用是將多線切割機(jī)生產(chǎn)出來的多晶硅或者單晶硅片清洗干凈并進(jìn)行烘干,以達(dá)到進(jìn)行最終硅片包裝的目的。根據(jù)硅片清洗機(jī)的工藝流程和控制要求,分析了清洗機(jī)的機(jī)械手存在的缺陷,提出采用編碼器代替限位開關(guān)的改造方案,并采用PLC、變頻器完成了機(jī)械手的控制。
【作者單位】： 河北大學(xué)工商學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 機(jī)械手 編碼器 PLC
【分類號(hào)】：TN305.97;TP241
【正文快照】： 硅片清洗機(jī)是太陽能行業(yè)中硅片制造環(huán)節(jié)的一種重要的自動(dòng)化設(shè)備,它的主要作用是將多線切割機(jī)生產(chǎn)出來的多晶硅或者單晶硅片清洗干凈并進(jìn)行烘干,以達(dá)到進(jìn)行最終硅片包裝的目的。硅片清洗機(jī)一般由清洗槽、機(jī)械手、人機(jī)界面和電控柜等幾部分組成。工藝流程如圖1所示,先將插在載片

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