本文關鍵詞：應用于集成傳感器的高精度接口芯片設計

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【摘要】：針對集成傳感器接口信號微弱,對低頻噪聲敏感的特性,設計了一種高精度低失調(diào)的傳感器接口芯片。采用嵌套斬波運放可編程增益放大器結(jié)構(gòu),隔離放大傳感器感測到的模擬信號。ADC采用增量三階單環(huán)單比特量化sigma-del ta調(diào)制器,積分電路運用了相關雙采樣技術(shù),有效抑制了傳感器接口電路的低頻噪聲。芯片采用0.18μm CMOS雙層多晶硅五層金屬工藝實現(xiàn),測試結(jié)果表明,增量sigma-delta ADC的SNDR達到了90.8 d B,有效位數(shù)達到14.79位。
【作者單位】： 華中科技大學光學與電子信息學院;武漢群茂科技公司;華中科技大學自動化學院;
【關鍵詞】： 集成傳感器 嵌套斬波 sigma-delta調(diào)制器 相關雙采樣
【分類號】：TN402;TP212
【正文快照】： 0引言微機械(MEMS)系統(tǒng)廣泛應用于壓力傳感器,重力傳感器,陀螺儀等。微機械系統(tǒng)的優(yōu)勢在于可用現(xiàn)有集成電路工藝制造,如CMOS。因此基于微機械系統(tǒng),現(xiàn)代微電子技術(shù)制造工藝的傳感器系統(tǒng)具有易集成、功耗低、成本低、可靠性高等特點[1]。微機械傳感器與數(shù)字輸出的接口ASIC構(gòu)成集

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