本文關鍵詞：飛秒激光加工SiC模型參數(shù)優(yōu)化設計研究

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【摘要】：開展飛秒激光與SiC相互作用機理研究,探索飛秒激光加工SiC材料的作用機理與激光功率密度閾值、脈沖寬度、頻率、重疊率等參數(shù)的相互影響,這其中增加了在激光脈沖寬度范圍內由于多種因素的影響,導致自由電子密度減少的因素;考慮了飛秒激光光束在被加工材料傳輸過程中由于被加工材料表面反射而造成的損失量,以及由于激光束電離后光電子與晶格發(fā)生碰撞而"反射、散射"造成的能量損失,從而對現(xiàn)有作用機理進行理論模型優(yōu)化,通過比較研究和實驗驗證自由電子密度,為飛秒加工過程中激光與材料相互作用研究提供分析和參考。
【作者單位】： 天津工業(yè)大學天津市現(xiàn)代機電裝備技術重點實驗室;
【關鍵詞】： 飛秒激光 SiC 自由電子密度 電子晶格溫度
【基金】：天津市高等學�？萍及l(fā)展基金計劃項目(No.20130402)資助
【分類號】：TN249;TN304.24
【正文快照】： 1引言飛秒激光加工是微納加工領域一種重要的加工方法,其加工應用范圍廣泛,從軟金屬到淬火鋼、不銹鋼、高速鋼、硬質合金等難加工材料,到半導體、玻璃、陶瓷等硬脆非金屬材料[1]。飛秒加工重要特征表現(xiàn)在被加工工件尺度小、加工精度高、熱影響區(qū)近乎無等方面[2-3]。隨著現(xiàn)代工

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本文編號：971323