本文關(guān)鍵詞：用于制作FBG的緊湊型準(zhǔn)分子激光器的研究

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【摘要】：248 nm的Kr F準(zhǔn)分子激光器在光刻、科研等領(lǐng)域有重要的應(yīng)用。研制了一臺(tái)用于刻寫光纖布拉格光柵的準(zhǔn)分子激光器,設(shè)計(jì)并完善激光器的機(jī)械結(jié)構(gòu),分析了激光器的均勻放電、預(yù)電離等關(guān)鍵技術(shù)。通過研究充電電壓、工作氣體配比和總的工作氣體壓力對(duì)輸出激光能量和效率的影響,優(yōu)化激光器的性能;并對(duì)光斑均勻性、光束發(fā)散角和能量穩(wěn)定性進(jìn)行了測(cè)試和計(jì)算。該準(zhǔn)分子激光器的重復(fù)頻率為1~50 Hz,最高輸出效率達(dá)2.0%,單脈沖輸出能量最高達(dá)360 m J,當(dāng)工作電壓不低于24 k V時(shí),激光輸出能量不穩(wěn)定度小于1.8%。用該激光器作為光源采用靜態(tài)相位掩模法在光纖內(nèi)刻寫布拉格光柵,并對(duì)刻寫結(jié)果進(jìn)行分析和討論。
【作者單位】： 中國(guó)科學(xué)院安徽光學(xué)精密機(jī)械研究所;
【關(guān)鍵詞】： 準(zhǔn)分子激光器 氣體配比 輸出能量 輸出效率 光纖布拉格光柵
【分類號(hào)】：TN248
【正文快照】： 0引言Kr F準(zhǔn)分子激光器以其輸出激光波長(zhǎng)短、脈沖寬度窄、單脈沖能量高等優(yōu)點(diǎn)成為制作光纖布拉格光柵(Fiber Bragg Grating,FBG)的有效刻蝕光源。近年來,隨著光電子的快速發(fā)展,FBG憑借其高可靠性、低傳輸損耗和高信噪比的特點(diǎn),在光纖通信(如:波分復(fù)用器、整流器、光纖色散補(bǔ)償

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