本文關(guān)鍵詞：毫秒激光輻照單晶硅的在線應(yīng)力損傷研究

  更多相關(guān)文章： 相干光學(xué) 毫秒脈沖激光 單晶硅 熱應(yīng)力損傷 馬赫-曾德爾干涉 在線應(yīng)力

【摘要】：為了測(cè)量毫秒脈沖激光輻照非透明材料的在線應(yīng)力及應(yīng)力應(yīng)變演化的過(guò)程,基于光學(xué)干涉理論,針對(duì)大功率固體激光器與材料的相互作用,采用馬赫-曾德爾干涉的方法,得到了材料損傷的干涉條紋。通過(guò)對(duì)干涉條紋變化的分析與處理,可以得到材料在線應(yīng)力及其演化過(guò)程�；诠鈱W(xué)干涉理論,選擇單晶硅作為實(shí)驗(yàn)材料,建立comsol仿真模型,并在理論及仿真的基礎(chǔ)上開展實(shí)驗(yàn)。實(shí)驗(yàn)與仿真的r(x)方向誤差在11.7%~33.91%之間,z(y,z)方向誤差在20.25%~31.34%之間,說(shuō)明用馬赫-曾德爾干涉的方法測(cè)量非透明材料的應(yīng)力具有可行性。實(shí)驗(yàn)研究為激光與非透明材料作用過(guò)程中在線應(yīng)力損傷及演變過(guò)程研究提供了一個(gè)新的方法。
【作者單位】： 長(zhǎng)春理工大學(xué)理學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 相干光學(xué) 毫秒脈沖激光 單晶硅 熱應(yīng)力損傷 馬赫-曾德爾干涉 在線應(yīng)力
【分類號(hào)】：TN304.12
【正文快照】： 1引言單晶硅是典型的脆性材料,在激光輻照過(guò)程中可能出現(xiàn)斷裂、熔融、氣化、噴濺、等離子體等現(xiàn)象[1-2]。激光輻照脆性材料時(shí)引發(fā)的熱應(yīng)力的理論研究是對(duì)脆性材料進(jìn)行加工或斷裂切割的基礎(chǔ)[3-5]。而毫秒量級(jí)脈沖激光因其在空氣中傳播效率高、與材料相互作用過(guò)程中能量耦合效率

【相似文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 丁升;王建國(guó);束慶邦;王玉恒;;激光輻照下轉(zhuǎn)動(dòng)柱殼平均溫度與破壞時(shí)間的工程估算[J];強(qiáng)激光與粒子束;2006年12期

2 許麗;黃偉其;辛榮;;激光輻照單晶硅樣品的研究[J];山西大同大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);2007年04期

3 王玉恒;劉峰;;強(qiáng)激光輻照充壓圓柱殼體熱力效應(yīng)的相似性數(shù)值模擬(Ⅰ)[J];激光雜志;2008年05期

4 陳亞娟;廖明成;;激光輻照薄板溫度場(chǎng)的有限元計(jì)算[J];河南理工大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);2009年04期

5 吳平;李雅娣;王立虎;;自旋對(duì)受強(qiáng)激光輻照殼體的防護(hù)作用[J];科學(xué)技術(shù)與工程;2010年24期

6 李鵬;孫宏祥;張淑儀;劉桂梅;;激光輻照移動(dòng)平板溫度場(chǎng)分布的有限元分析[J];南京大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);2011年02期

7 雷勇軍;吳非;;強(qiáng)激光輻照下雙層殼體溫度場(chǎng)和應(yīng)力場(chǎng)的數(shù)值模擬[J];國(guó)防科技大學(xué)學(xué)報(bào);2011年06期

8 龔艷春;武文遠(yuǎn);黃雁華;戴斌飛;吳成國(guó);;激光輻照下固體熱輸運(yùn)的隨機(jī)算法及應(yīng)用[J];河北科技大學(xué)學(xué)報(bào);2011年S2期

9 ;激光輻照效應(yīng)與機(jī)理實(shí)驗(yàn)室[J];中國(guó)光學(xué);2012年03期

10 陳華;湯文輝;冉憲文;徐志宏;周浩;徐彬彬;;激光輻照柱體鋁靶的三維光滑粒子流體動(dòng)力學(xué)仿真[J];強(qiáng)激光與粒子束;2012年12期

中國(guó)重要會(huì)議論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 饒鵬;劉文廣;華衛(wèi)紅;;激光輻照硅鏡的實(shí)驗(yàn)研究[A];第九屆全國(guó)物理力學(xué)學(xué)術(shù)會(huì)議論文集[C];2009年

2 龍連春;朱凱;沈敏敬;;激光輻照加涂層殼體結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性分析[A];力學(xué)與工程應(yīng)用（第十三卷）[C];2010年

3 沈敏敬;田建東;龍連春;;激光輻照?qǐng)A柱殼體的數(shù)值模擬[A];北京力學(xué)會(huì)第13屆學(xué)術(shù)年會(huì)論文集[C];2007年

4 謝武俊;孫俊;徐勝利;;聚焦激光輻照水噴射現(xiàn)象的初步實(shí)驗(yàn)觀察[A];慶祝中國(guó)力學(xué)學(xué)會(huì)成立50周年暨中國(guó)力學(xué)學(xué)會(huì)學(xué)術(shù)大會(huì)’2007論文摘要集（下）[C];2007年

5 趙斌;龍連春;;局部激光輻照下軸壓圓柱殼的穩(wěn)定性分析[A];北京力學(xué)會(huì)第17屆學(xué)術(shù)年會(huì)論文集[C];2011年

6 劉慎業(yè);蔣小華;滕浩;丁耀南;張海英;鄭志堅(jiān);;0.351μm激光輻照盤靶散射激光的時(shí)間行為[A];中國(guó)工程物理研究院科技年報(bào)（1998）[C];1998年

7 李欣濤;劉海宏;龍連春;;鋁合金圓柱殼激光輻照溫度場(chǎng)研究[A];北京力學(xué)會(huì)第19屆學(xué)術(shù)年會(huì)論文集[C];2013年

8 劉海宏;龍連春;;軸壓薄壁圓柱殼激光輻照局部的失效研究[A];北京力學(xué)會(huì)第19屆學(xué)術(shù)年會(huì)論文集[C];2013年

9 尹益輝;;短脈沖激光輻照下光學(xué)膜層迎光剝落的一個(gè)理論模型[A];加入WTO和中國(guó)科技與可持續(xù)發(fā)展——挑戰(zhàn)與機(jī)遇、責(zé)任和對(duì)策（下冊(cè)）[C];2002年

10 王玉恒;劉峰;王立君;韓峰;劉鈺;丁升;;激光輻照金屬殼體熱力學(xué)效應(yīng)模擬[A];第七屆全國(guó)工程結(jié)構(gòu)安全防護(hù)學(xué)術(shù)會(huì)議論文集[C];2009年

中國(guó)博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前9條

1 李元杰;激光輻照拉伸纖維的形變機(jī)理及特征[D];四川大學(xué);2003年

2 劉劍;毫秒級(jí)脈沖激光輻照脆性材料的熱—力學(xué)效應(yīng)[D];南京理工大學(xué);2011年

3 吳非;強(qiáng)激光輻照下結(jié)構(gòu)熱力效應(yīng)分析[D];國(guó)防科學(xué)技術(shù)大學(xué);2006年

4 江天;單元光電探測(cè)器在連續(xù)激光輻照下的響應(yīng)機(jī)理研究[D];國(guó)防科學(xué)技術(shù)大學(xué);2012年

5 牛燕雄;光電系統(tǒng)的強(qiáng)激光破壞及防護(hù)技術(shù)研究[D];天津大學(xué);2005年

6 關(guān)魁文;皮膚組織對(duì)紅外激光輻照熱響應(yīng)的細(xì)胞機(jī)理研究[D];大連理工大學(xué);2013年

7 劉潔;氧化鋅單晶及激光輻照氧化鋅單晶的光譜學(xué)研究[D];北京工業(yè)大學(xué);2011年

8 焦路光;連續(xù)波激光對(duì)液體貯箱的輻照效應(yīng)研究[D];國(guó)防科學(xué)技術(shù)大學(xué);2013年

9 趙艷;激光制備氧化鋅納米材料及其激光輻照效應(yīng)研究[D];北京工業(yè)大學(xué);2008年

中國(guó)碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 姬亞玲;激光輻照聚合物材料改性研究[D];北京工業(yè)大學(xué);2007年

2 焦雯;強(qiáng)激光輻照板的熱彈性響應(yīng)研究[D];北京交通大學(xué);2011年

3 談浩琪;準(zhǔn)分子激光輻照氮化鎵外延片及其改性研究[D];北京工業(yè)大學(xué);2015年

4 張國(guó)銳;激光輻照實(shí)現(xiàn)鐵基非晶軟磁合金納米晶化的基礎(chǔ)研究[D];北京工業(yè)大學(xué);2011年

5 賀敏波;強(qiáng)激光輻照下鍍膜鏡面的熱變形[D];國(guó)防科學(xué)技術(shù)大學(xué);2011年

6 吉松;強(qiáng)激光輻照多層薄板的熱響應(yīng)分析[D];北京交通大學(xué);2013年

7 齊文文;激光輻照下薄壁結(jié)構(gòu)的熱力學(xué)響應(yīng)分析[D];北京工業(yè)大學(xué);2014年

8 張磊;組合激光輻照半導(dǎo)體硅的耦合規(guī)律實(shí)驗(yàn)研究[D];國(guó)防科學(xué)技術(shù)大學(xué);2008年

9 周維軍;激光輻照短波通截止膜的溫升規(guī)律和損傷效應(yīng)研究[D];中國(guó)工程物理研究院;2005年

10 張晉峰;激光輻照復(fù)合材料效應(yīng)測(cè)試與分析[D];北京工業(yè)大學(xué);2012年

，

本文編號(hào)：914519