發(fā)布時間：2017-09-22 17:01

  本文關鍵詞：脈沖LD泵浦電光調Q深紫外激光器

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【摘要】：研制了千赫茲213 nm深紫外全固態(tài)激光器。激光器采用脈沖LD側面泵浦方式和電光調Q技術,實現了10瓦級基頻光的穩(wěn)定輸出。利用多次倍頻技術,實現了穩(wěn)定的213 nm深紫外激光輸出。當LD泵浦電流為80 A時,213 nm激光輸出的最大平均功率達到了151 m W,激光器重復頻率為1 k Hz,激光脈沖寬度為10ns,功率不穩(wěn)定度為3%。同時,對激光在非線性晶體中的偏振匹配和不同重復頻率條件下的激光器運轉特性進行了分析。
【作者單位】： 沈陽理工大學理學院;吉林大學口腔醫(yī)學院;鞍山紫玉激光科技有限公司;
【關鍵詞】： 深紫外 LD脈沖泵浦 全固態(tài)激光器
【基金】：國家自然科學基金(61378042) 遼寧省高校杰出青年學者成長計劃(LJQ2015093) 遼寧省科技計劃(2014220040) 沈陽市科技計劃(F16-210-6-00) 沈陽理工大學激光與光信息遼寧省重點實驗室開放基金資助項目
【分類號】：TN248.1
【正文快照】： 1引言深紫外激光以其波長短、光子能量高、可聚焦能力強等優(yōu)點,在精密加工和光刻、高密度數據存儲、激光醫(yī)療、環(huán)境監(jiān)測、高端LIBS測量等領域都有重要的難以替代的應用[1-9]。通常的深紫外獲得方法有兩種:一是采用準分子激光器直接激發(fā),二是通過多次倍頻。前者通常使用類似Kr

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本文編號：901987