本文關(guān)鍵詞：紅外探測(cè)器100%占空比的方形孔徑球面微透鏡陣列的研制

  更多相關(guān)文章： 微透鏡陣列 %占空比 移動(dòng)掩膜曝光 反應(yīng)離子刻蝕 光能效率

【摘要】：為了避免由于紅外探測(cè)器焦平面陣列存在占空比導(dǎo)致系統(tǒng)光能損失的影響,設(shè)計(jì)并制作了一種100%占空比、球面矢高8μm、周期50μm的紅外石英方形孔徑球面微透鏡陣列。應(yīng)用非序列光學(xué)分析方法模擬并分析了微透鏡周期結(jié)構(gòu)占空比對(duì)光能利用率的影響。運(yùn)用移動(dòng)掩膜曝光技術(shù)和反應(yīng)離子刻蝕技術(shù)制備微透鏡陣列,通過顯微鏡和白光干涉儀對(duì)微透鏡表面形貌進(jìn)行表征,并分析了其面形誤差。根據(jù)實(shí)驗(yàn)結(jié)果判斷射頻功率、工作氣壓及刻蝕氣體流量工藝參數(shù)對(duì)微透鏡形貌具有很大影響,經(jīng)過分析確定了最佳工藝參數(shù)組合。測(cè)試結(jié)果表明:在最佳工藝參數(shù)組合條件下制作的微透鏡占空比基本達(dá)到100%,紅外焦平面光能效率從原來的65%提升到93%以上,說明方形孔徑球面微透鏡能夠代替?zhèn)鹘y(tǒng)圓形孔徑微透鏡獲得更高的光能利用率。
【作者單位】： 長(zhǎng)春理工大學(xué)光電工程學(xué)院;華中光電技術(shù)研究所—武漢光電國(guó)家實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： 微透鏡陣列 %占空比 移動(dòng)掩膜曝光 反應(yīng)離子刻蝕 光能效率
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金項(xiàng)目(61108044) 吉林省自然科研基金項(xiàng)目(20150101038JC)
【分類號(hào)】：TN215
【正文快照】： 目前,紅外探測(cè)技術(shù)越來越廣泛的應(yīng)用到民用和工業(yè)領(lǐng)域,尤其在軍事國(guó)防需求牽引推動(dòng)下,更要求探測(cè)器向高性能和微型化等方向發(fā)展。然而探測(cè)器微型化意味著紅外焦平面上光敏單元面積減小,這將對(duì)其信噪比和靈敏度等性能指標(biāo)有嚴(yán)重影響。并且由于目標(biāo)輻射僅有約一半能被探測(cè)器光敏

【相似文獻(xiàn)】

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